铝合金阳极化前热处理工艺制造技术
【技术实现步骤摘要】
铝合金阳极化前热处理工艺
本专利技术属于热处理工艺
，特别是涉及一种铝合金阳极化前热处理工艺。适用于IC装备(生产半导体器件、集成电路芯片和平板显示器的专用生产设备)制造业热处理技术，主要关于提高铝合金阳极膜耐腐蚀性的热处理专业技术方法。
技术介绍
铝合金阳极化前热处理工艺，有其特别的重要性。铝合金阳极化前的热处理方法与其它阳极化前的化学处理方法不同，一般的化学前处理只能去除晶界间大量的Si-Mg相，使材料晶界间形成腐蚀凹坑，而无法使Si-Mg析出相均匀地分散于晶粒中，从而导致料阳极膜的耐腐蚀性很差。
技术实现思路
针对上述存在的技术问题，为了使铝合金材料晶界间的析出相均匀地分散于材料晶界中，从根本上提供铝合金阳极氧化膜的耐腐蚀性，并为提高其它材料阳极膜耐腐蚀性能提供一定的参考方法。本专利技术的目的是提供一种铝合金阳极化前热处理工艺。它能够显著地提高材料阳极化后阳极膜的耐腐蚀性。本专利技术的目的是通过如下技术方案实现的：本专利技术一种铝合金阳极化前热处理工艺，包括如下步骤：(1)在热处理炉中预先放置干净平整的放置零件的平板；(2)固溶热处理：将零件放入温度为室温的热处理炉中，采用阶段式升温的方式进行加热，升温阶段分为两段：从0℃升至200℃的过程中采用缓慢升温的方式，升温速率为2-4℃/min；然后30min内将温度由200℃升至固化处理温度520-540℃；(3)温度控制在520-540℃，保温1.5-2.5H；(4)水淬方式冷却。进一步地，所述水淬时的转移时间为5-15s。进一步地，所述水淬工艺是将零件垂直于水槽进行水淬。本专利技术的有益效果是：1....
【技术保护点】
一种铝合金阳极化前热处理工艺，其特征在于：包括如下步骤：（1）在热处理炉中预先放置干净平整的放置零件的平板；（2）固溶热处理：将零件放入温度为室温的热处理炉中，采用阶段式升温的方式进行加热，升温阶段分为两段：从0℃升至200℃的过程中采用缓慢升温的方式，升温速率为2‑4℃/min；然后30min内将温度由200℃升至固化处理温度520‑540℃；（3）温度控制在520‑540℃，保温1.5‑2.5H；（4）水淬方式冷却。
【技术特征摘要】
1.一种铝合金处理工艺，其特征在于：包括如下步骤：(1)在热处理炉中预先放置干净平整的放置零件的平板；(2)固溶热处理：将零件放入温度为室温的热处理炉中，采用阶段式升温的方式进行加热，升温阶段分为两段：从0℃升至200℃的过程中采用缓慢升温的方式，升温速率...
【专利技术属性】
技术研发人员：安朋娜，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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