输送系统技术方案

本发明专利技术提供了一种基底输送系统示例实施例。该系统有引导通路和至少一个输送车辆。输送车辆适合于保持至少一个基底，并能够由引导通路支承和沿该引导通路运动。引导通路包括用于车辆的至少一个运行车道以及至少一个进入车道，该至少一个进入车道偏离运行车道，以便允许车辆选择性地进入和离开运行车道。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本专利技术公开了一种用于在半导体制造设备中输送减小容量的晶片载体的系统和方法。
技术介绍
在半导体工业中希望能够降低晶片生产周期，减小工作量以及提高晶片的安全性。研究显示，通过移动单个晶片载体，晶片生产周期和晶片在制品明显减少。另外，对于下一代晶片尺寸(450mm)，国际半导体技术蓝图(ITRS)要求使用单个基底载体。使用单个晶片或减小容量的载体的优点包括减少在制品、减少过程转换时间和提高产品更新时间。产生的问题是，相对于处理工具和材料输送系统的能力，与13或25晶片载体相比，普通的单个基底载体需要使工厂有效地保持更高速度，因为有更大量的载体进行输送运动。该问题的一个实例包括当只有一个狭槽时。希望在处理工具中的机器人具备快速交换载体中晶片的能力，这样，载体能够由具有未处理晶片的另一载体替换，以使工具保持繁忙。很多这样的工具不具备快速交换的能力，正如常规的单叶片式三轴机器人。该问题的另一实例包括当只有一个狭槽时。希望在集成电路制造中，输送载体到到工具的材料输送系统具备高速供给载体，并在处理工具载入端快速交换载体的能力，这样，在工具处的一个载体能够由具有未处理晶片的另一载体替换，以使工具保持繁忙。很多这类的材料输送系统并不能快速供给载体或没有快速交换的能力，正如用在普通300mm晶片制造中使用的一种传统的高架式材料输送系统。普通材料输送系统在被输送载体的输送或移动方面具有很高的刚性，并且不能提供足够的输送柔性，而这种输送的柔性正是具有减少工件容量(例如小于传统的13或25工件容器)的载体所期望的。例如，不管是基于支持连续运动(例如传送带或辊轮系统)还是基于运载车辆(例如在导轨、轨道上运行的离散车辆)，传统的输送系统充分利用线性的运行通路，且在不同通路之间有用于输送转换的交叉或连接。运行通路通常允许各车辆单向，或者另外使得输送材料在通路上运动，以便沿通路的指定方向顺序运动。因此，车辆或输送材料沿通路顺序运动，而没有超越能力。对于双向运动提供了对向通路(例如前进通路和返回通路)。除了与FAB工具/工具站连通的操作通路(即操作通路能够定位，使得沿通路运行的输送材料或车辆可以停止，以用于与FAB工具对接)，传统的输送系统可以有在通路接头之间的专用旁路或高速通路(相对于在操作通路上的可用输送速度，它由于不能越过静止的输送装置而受到限制)。然而，高速通路并不能使得在操作通路上的输送装置超越在操作通路上的停止或缓慢的输送装置。此外，沿传统输送系统的高速通路的输送装置保持线性的(顺序)，仍然不可能超越。因此，当输送装置由于某种原因(例如故障)而在高速通路上停下来，在该通路上的其它输送装置不能绕过、超越该停止的输送装置，继续在通路上运行。应该意识到的是，传统材料输送系统的输送计划的僵化削弱了充分利用FAB工具的优点以引导工件的能力，并且同样地降低了FAB的生产率。正如下面更详细的描述，本示例实施例克服了传统系统的问题。输送系统、载体和控制装置的实例可以在美国专利6047812、RE38221E、6461094、6520338、6726429、5980183、6265851、美国专利申请2004/0062633、2004/0081546、2004/0081545、2004/0076496和Brooks Automation的待审申请10/682808中介绍，所有这些文献都整个被本文参引。
技术实现思路
根据示例实施例，提供了一种基底输送系统。该系统有引导通路和至少一个输送车辆。输送车辆适合于保持至少一个基底，并能够由引导通路支承和沿该引导通路运动。引导通路包括用于车辆的至少一个运行车道以及至少一个进入车道，该至少一个进入车道偏离运行车道，以便允许车辆选择性地进入和离开运行车道。附图说明在下面的说明中将结合附图解释本专利技术的前述方面和其它特征，附图中图1是包括示例实施例的特征的基底处理系统的示意俯视平面图；图1A-1B分别是图1中的基底处理系统的另一示意俯视平面图和示意正视图；图2是另一示例实施例的基底处理系统的示意平面图；图3A是另一示例实施例的基底处理系统的输送系统引导通路和输送车辆的示意平面图；图3B是另一示例实施例的输送系统引导通路的引导部分的示意俯视平面图；图3C是另一示例实施例的输送系统引导通路和输送车辆的一部分的示意俯视平面图；图4A-4B分别是另一示例实施例的输送系统引导通路和输送车辆的示意平面图和正视图；图5A-5B分别是另一示例实施例的输送系统引导通路和输送车辆的示意平面图和正视图；图6是另一示例实施例的输送系统引导通路和输送车辆的示意正视图，该车辆表示为处于引导通路上的不同位置；图7是另一示例实施例的输送系统引导通路、输送车辆和载体的示意俯视平面图；图8A-8C是还一实施例的输送系统引导通路、输送车辆和处理装置的视图；图8A-8B是端视图，图8C是侧视图，且各图分别表示了输送车辆处于不同位置。图9A-9E分别是表示不同示例实施例的输送车辆的示意正视图；图10是另一示例实施例的输送车辆、车辆上的载体C、处理工具的缓冲器和装载口站的示意正视图；图11和12A-12C分别是输送车辆的一部分和车辆的载体C的正视图、具有不同示例实施例的记录特征的载体的透视图，而图12D是现有技术中的夹盘的示意剖视图；图13是另一示例实施例的输送系统引导通路、输送车辆和基底处理站的示意正视图；图14A-14D是表示不同示例实施例的输送车辆的运动系统的示意平面图，图14E是输送车辆的示意正视图；图15是输送车辆控制系统的示意平面图；图16A-16C是输送系统引导通路的一部分和输送车辆的侧视图，分别表示了在三个不同位置的输送车辆，而图17A-17C是与图16A-16C的侧视图相对应的端视图；图18是另一示例实施例的输送系统引导通路和输送车辆的示意侧视图，该车辆表示为处于不同位置；而图18A-18B分别是沿图18中的线A-A和B-B的剖视图；以及图19A-19C是另一示例实施例的输送系统的输送车辆的端视图，分别表示了处于不同结构中的车辆。具体实施例方式参考图1，图中表示了基底处理系统的示意平面图，该基底处理系统包括所述实施例的特征，并置于制造设备或FAB中。尽管将参考附图中所示的实施例来介绍所述实施例，但是应当知道，所述实施例能够以多种不同形式实施例来实施。另外，可以使用任意合适尺寸、形状或类型的元件或材料。图1中所示的示例实施例基底处理系统10是任意合适处理系统的代表，并通常包括处理工具S(图中为了示例目的而示出了两个)、输送系统10和系统控制器300。输送系统10通常包括引导通路12和输送车辆14。在所示示例实施例中，引导通路12可以是无源引导通路，提供有用于输送车辆14的输送车道TL、AL。这里有至少一个运行车道TL和至少一个进入车道AL。输送车辆14可以沿由引导通路12形成的车道TL/AL而在通路上自主运行(后面将介绍)。各输送车辆14(图1中为了示例目的而表示了两个车辆14以及回收车辆14R)能够装载有一个或多个基底载体C，并将该基底载体C沿通路输送至由该引导通路12连接的合适处理工具或处理工具站S。车辆14可以布置在引导通路12上或悬挂在引导通路12上。车辆可以从进入车道AL进入处理工具S。运行车道TL可用于使车辆绕过在进入车本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基底输送系统包括：　　　　引导通路；以及　　　　至少一个输送车辆，该输送车辆适合于保持至少一个基底，并能够由引导通路支承和沿该引导通路运动；　　　　其中，引导通路包括用于至少一个车辆的至少一个运行车道以及至少一个进入车道，该至少一个进入车道偏离运行车道，以便允许车辆选择性地进入和离开运行车道。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2004-8-24 60/604,406;US 2005-8-24 11/211,2361.一种基底输送系统包括引导通路；以及至少一...

【专利技术属性】
技术研发人员：U吉尔克里斯特，ML巴法诺，W福斯奈特，C霍夫梅斯特，GM弗里德曼，
申请(专利权)人：布鲁克斯自动化公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]