【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种向负载供给高频电力的高频电源装置以及高频电源装置输出的 电压的选定,该高频电源装置输出的电压的选定用于在从高频电源装置向负载供给高频电 力时,在负载端(负载侧的输入端)发生预定的负载端电压,特别是涉及一种在负载为等离 子体负载时,向等离子体负载供给高频电力使其产生等离子体放电时的打火电压即点火电 压(打火电压)的电压选定。
技术介绍
等离子体处理装置是一种例如向产生等离子体的反应室内设置的电极供给高频 电力使其产生等离子体放电,通过产生的等离子体在基板上实施表面处理的装置,用于半 导体制造等。 图11、12是用于说明等离子体处理装置的一个结构例的图。图11表示简化的等 价电路。图11所示的结构例中,等离子体处理装置100将高频电源101经由供电电缆104 以及匹配器(matchingbox) 103连接在反应室102的电极上,在负载端(负载侧的输入端) 施加点火电压使其产生等离子体,产生等离子体后向等离子体负载供给高频电力。 高频电源101可以等价地由RF电源电压101a(Vg)和内部阻抗101b(Zg)以及低通 滤波器l〇lc(LPF)构成。 匹配器103通过取得高频电源101和负载侧的阻抗匹配来减低从负载侧向高频电 源的反射波电力,提高从高频电源101向负载供给的预定频率的高频电力的供给效率。 图12是使用多个RF电源电压101a(Vg)时的结构例,表示将多个RF电源电压101 的输出电压通过合成器112耦合,经由低通滤波器113输出的普通的高频电源111的结构。 图12所示的电路结构中, ...
【技术保护点】
一种高频电力供给装置,其特征在于,具备:通过开关动作将直流电源的直流变换为高频交流的高频电源部;以及连接在所述高频电源部的输出端和作为负载的输入端的负载端之间,将所述高频交流提供给负载的供电部,所述高频电源部的内部阻抗是比所述供电部的特性阻抗低的阻抗,所述供电部在所述负载端为开路状态时的电长度LE是相对于所述高频交流的基本波长λ被选定为(2n-1)·(λ/4)-k·λ≤LE≤(2n-1)·(λ/4)+k·λ的值,n为整数,k是在0~λ/4的范围内决定的常数。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.06.18 JP 2012-1371401. 一种高频电力供给装置,其特征在于,具备: 通过开关动作将直流电源的直流变换为高频交流的高频电源部;以及 连接在所述高频电源部的输出端和作为负载的输入端的负载端之间,将所述高频交流 提供给负载的供电部, 所述高频电源部的内部阻抗是比所述供电部的特性阻抗低的阻抗, 所述供电部在所述负载端为开路状态时的电长度Le是相对于所述高频交流的基本波 长 λ 被选定为(2n - 1) · ( λ /4) - k · λ < Le < (2n - 1) · (λ /4) +k · λ 的值,η 为整 数,k是在O?λ/4的范围内决定的常数。2. 根据权利要求1所述的高频电力供给装置,其特征在于, 所述供电部是将所述高频电源部的输出端和所述负载的负载端电连接的供电电缆, 所述高频电源部的内部阻抗是比所述供电电缆的特性阻抗低的阻抗, 所述供电电缆的电缆长度是使所述负载的负载端为开路状态时的电长度Le为相 对于所述高频交流的基本波长λ被选定为(2η - 1) ·( λ /4) - k · λ彡Le彡(2η - I) · (λ/4)+k· λ的电长度的长度,η为整数,k是在O?λ/4的范围内决定的常数。3. 根据权利要求1所述的高频电力供给装置,其特征在于, 所述供电部是将所述高频电源部的输出端和所述负载的负载端电连接的、由电容器及 电抗器的串联共振电路构成的滤波电路, 所述高频电源部的内部阻抗是比所述滤波电路的特性阻抗低的阻抗, 关于所述滤波电路的电长度Le,使所述负载端为开路状态时的电长度Le为相对于所述 高频交流的基本波长λ被选定为(2η - 1) · ( λ /4) - k · λ彡Le彡(2η - 1) · ( λ /4) +k · λ 的电长度,η为整数,k是在O?λ /4的范围内决定的常数。4. 根据权利要求1所述的高频电力供给装置,其特征在于, 所述供电部是将所述高频电源部的输出端和所述负载的负载端电连接的、由电容器及 电抗器的电路构成的滤波电路和供电电缆的串联电路, 所述高频电源部的内部阻抗是比所述串联电路的特性阻抗低的阻抗, 关于所述串联电路的电长度Le,使所述负载端为开路状态时的电长度Le为相对于所述 高频交流的基本波长λ被选定为(2η - 1) · ( λ /4) - k · λ彡Le彡(2η - 1) · ( λ /4) +k · λ 的电长度,η为整数,k是在O?λ /4的范围内决定的常数。5. 根据权利要求1至4中的任意一项所述的高频电力供给装置,其特征在于, 所述常数k为{> - 2 · cos - 1 (1/Κ)}八4 π ),是用于决定使负载端电压Vz为RF电源 电压Vg的K倍的电长度Le的范围的常数,z = Le。6. -种点火电压选定方法,其用于选定在作为等离子体负载的输入端的负载端,使等 离子体负载产生等离子体放电的点火电压, 所述点火电压选定方法的特征在于, 在通过供电部...
【专利技术属性】
技术研发人员:让原逸男,相川谕,国玉博史,
申请(专利权)人:株式会社京三制作所,
类型:发明
国别省市:日本;JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。