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使负载端电压为高电压，选定等离子体负载的负载端电压为用于产生等离子体放电充分高的点火电压。在从高频电源通过供电部进行的向负载的高频电力的供给中，(a)使高频电源部的内部阻抗为比供电部的特性阻抗低的阻抗，(b)将连接高频电源和负载供给高频电力...
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