本发明涉及一种薄膜型太阳能电池及其制造方法。该薄膜型太阳能电池包括：基板；光散射膜，该光散射膜形成在该基板上，并且所述光散射膜包含珠粒和用于固定该珠粒的粘结剂；形成在该光散射膜上的前电极层；形成在该前电极上的半导体层；以及形成在该半导体...

本发明涉及一种基板处理系统与基板传送方法，其中能够通过使用配设于线性排列的两排处理室之间的基板传送装置来双向地传送基板，从而提高了基板传送效率。此基板处理系统包含：传送室，具有用以双向传送基板的至少一个双向基板传送装置；以及多个处理室，...

本发明提供一种气体分配装置及一种包括该气体分配装置的基板处理装置。该基板处理装置包括：腔室，其包含反应空间；基板定位单元，其安置于该腔室的该反应空间中以相对于其中心径向地定位多个基板；以及气体分配器件，其包含：第一气体分配部分，该第一气...

本发明公开了一种晶圆型太阳能电池及其制造方法。本发明便于增强空穴收集效率，并通过防止入射阳光的透过率降低来提高电池效率。所述晶圆型太阳能电池包括：半导体晶圆片的第一半导体层；掺杂有P型掺杂剂的第二半导体层；掺杂有N型掺杂剂的第三半导体层...

公布了一种制造薄膜型太阳能电池的方法以及使用这种方法所制造的薄膜型太阳能电池。所述方法包括：用来在衬底上以预定间隔形成多个单体前电极图案的第一过程；用来在所述衬底上形成半导体层图案的第二过程，其中，所述半导体层图案包括将所述太阳能电池划...

提供了一种薄膜晶体管(TFT)及其制造方法。该TFT包括栅极电极；源极电极和漏极电极，在垂直方向上与栅极电极隔开并且在水平方向上彼此隔开；栅极绝缘层，设置在栅极电极与源极电极和漏极电极之间；有源层，设置在栅极绝缘层与源极电极和漏极电极之...

一种用于基板处理设备的气体分配装置，包括：具有第一侧面的多个等离子体源电极；具有与第一侧面面对的第二侧面的多个等离子体接地电极，所述多个等离子体接地电极与多个等离子体源电极交替设置；和设置在每个等离子体源电极处的第一气体提供部，包括用于...

本发明公开了一种干蚀刻装置，其能够在基板表面上形成均匀的图案，用于通过利用等离子体蚀刻至少一个基板的干蚀刻装置，包括：放置于腔室内部的托盘上的至少一个基板；基座，设置在腔室内部同时对着至少一个基板，用于提供高频电能从而形成等离子体；接地...

公开了一种太阳能电池及其制造方法，便于通过使半导体晶片中产生的载流子诸如空穴或电子平稳地漂移到第一和第二电极来提高电池效率，该太阳能电池包括：具有预定极性的半导体晶片；在半导体晶片的一个表面上的第一半导体层；在第一半导体层上的第一透明导...

本发明涉及一种用于在位于一单个腔室中的彼此独立的复数个基板上执行相同或不同处理的基板固持器和一种装配有该基板固持器的腔室。根据本发明，提供一种用于固定复数个基板的基板固持器。该基板固持器包括用于注射气帘气体以将该等复数个基板彼此分隔开的...

提供了一种薄膜沉积系统和薄膜沉积方法。该薄膜沉积系统包括：用来供给原材料的原材料供给器；原材料气体供给器，包括与该原材料供给器相连的用以蒸发由该原材料供给器供给的原材料的蒸发器；薄膜沉积设备，与该原材料气体供给器相连，用以将由该原材料气...

一种处理室的清洗方法，用以去除包含铝和过渡金属的氮化层，该氮化层附着在该处理室的内表面上，所述方法包括：通过向该处理室提供清洗气体去除该氮化层，其中所述清洗气体包括包含硼的第一气体和包含氟的第二气体。

本申请公开了一种半导体制造设备，其包括设有基板移动装置以移动基板的传送室，对准基板并将基板装载到传送室和从传送室卸载该基板的真空室，和处理从传送室转移的基板的至少一个处理室。该至少一个处理室中的每一个都包括室主体、基板支架和至少一个分隔...

公开了一种气体分散装置以及包括该气体分散装置的基板处理设备。所述基板处理设备包括：处理室，其通过室盖和室主体的组合提供反应空间；气体分散装置，其包括在处理室中的板和喷射部，该喷射部包括在板中的多个通孔和与多个通孔流体连接的放电部，该放电...

公开了一种太阳能电池及其制造方法，其有助于防止残余物质残留在第一和第二电极之间，即使是在高温条件下将多个层沉积在基板上，仍有助于基板凹陷问题的最小化，并且有助于最小化激光划线工序的次数。该太阳能电池包括：具有通孔的基板；在基板的一个表面...

本发明公开了一种薄膜型太阳能电池及其制造方法，能够通过减小死区而实现提高太阳能电池的效率，其中，所述方法包括：在基板上形成多个前电极，其中所述多个前电极通过各个插置其间中的第一分隔部分以固定间隔形成；在包括所述前电极的所述基板的整个表面...

一种基板处理装置，包含：一处理室，提供一反应区域并且包含一本体以及一盖体，该盖体具有数个开口；数个绝缘板，分别密封该数个开口；数个天线，分别位在该数个绝缘板的上方；一气体注入单元，位在该盖体与该数个绝缘板上方；以及一基板固定单元，位在该...

公开了一种能够提高电池效率的太阳能电池及其制造方法，所述太阳能电池包括：衬底；在所述衬底上的第一电极；在所述第一电极上的光电转换部分；在所述光电转换部分上的第二电极；以及在所述第二电极上的多个微珠。

一种等离子体产生装置包括：一腔室，其具有一腔室盖并界定一气密反应区域；一在所述腔室中的基座；一气体供应构件，其将一制程气体供应到所述腔室；和一环形铁芯，其穿过所述腔室盖相对于所述基座垂直设置，所述环形铁芯包含：一与所述腔室相组合的环形铁...

本文揭示一种装载锁，在与适于依次从处理室转移基板的转移构件协作而加载复数个基板后，其将处于备用状态。本发明提供：装载锁，其增大其转移速率以有效率地向处理室或外部转移基板；及一使用该装载锁的装载锁腔室。根据本发明，装载锁包括：其上支持基板...