信越石英株式会社专利技术

信越石英株式会社共有42项专利

  • 本发明的目的在于提供石英玻璃夹具的制造方法及石英玻璃夹具,在不存在微裂纹的通过药液处理的凹凸形成中,即使为大型的石英玻璃夹具,斑纹在表面的凹凸加工面也不显眼,具备优良的均匀性的凹凸处理面。一种石英玻璃夹具的制造方法,是通过药液处理在表面...
  • 本发明是对具有外层和内层的石英玻璃坩埚进行评价的方法,其中,外层由含有气泡的不透明石英玻璃构成,内层由透明石英玻璃构成,具有以下工序:准备评价对象即石英玻璃坩埚;向该评价对象即石英玻璃坩埚照射紫外线作为激励光;对从照射了所述紫外线的石英...
  • 本发明是一种CZ用坩埚,用于通过CZ法培育单晶硅锭,所述CZ用坩埚包含:有底筒状的石墨坩埚、以及配置于该石墨坩埚的内部的有底筒状的石英玻璃坩埚,在所述CZ用坩埚的中心轴上的所述石墨坩埚的底部的内表面与所述石英玻璃坩埚的底部的外表面之间具...
  • 本发明是一种石英玻璃坩埚,用于通过CZ法培育单晶硅锭,所述石英玻璃坩埚是有底筒状,并具有:圆筒状的直筒部;第一弯曲部,连续于该直筒部的下端且具有第一曲率R1;第二弯曲部,连续于该第一弯曲部且具有第二曲率R2;以及底部,连续于该第二弯曲部...
  • 提供能够将热处理中的二氧化硅玻璃圆板的变形量抑制为最小限度、增大二氧化硅玻璃表面的表面积的形成有凹窝的二氧化硅玻璃圆板。二氧化硅玻璃圆板在二氧化硅玻璃体的至少表面或至少背面上具有形成有多个凹窝的凹窝形成区域,且通过所述凹窝形成区域的凹窝...
  • 本发明提供石英玻璃的制造方法,其是使用表面处理液进行石英玻璃的表面处理、在玻璃表面具有凹凸的石英玻璃的制造方法,其中,通过预先使不参与利用上述表面处理液进行的表面处理的溶剂成分与石英玻璃的表面接触,其次,趁着所述溶剂成分没有干燥,进行利...
  • 本发明提供一种火焰研磨装置,其对圆筒状的石英玻璃管的端部进行火焰研磨,具备:静置台,其将所述石英玻璃管水平静置;以及,火焰研磨用的燃烧器,其能够配置在所述石英玻璃管的端部的圆周的延长线上与所述石英玻璃管的端部的圆周对置的位置,其中,所述...
  • 提供一种中空状合成石英玻璃多孔质母材的制造方法以及合成石英玻璃筒的制造方法,即使是外径超过300mm的烟炱体,也能够不使生长中产生的离心力等对装置的负载大幅增大地制作烟炱体,即使在以低速旋转制造的情况下,也不会对烟炱体产生裂缝、破裂,且...
  • 本发明提供一种成型板,其为了对应多种用户要求并且兼顾提高生产性和节约原料、以及削减废弃物,而能够灵活地变更模具内的原料粉成型体形状。该成型板在制造石英玻璃坩埚的装置中用于成型原料粉成型体,其中,所述制造石英玻璃坩埚的装置具备模具和原料粉...
  • 本发明的目的在于提供一种测量夹具,其在将用于通过CZ法培育硅单晶锭的有底筒状的石英坩埚配置在有底筒状的石墨坩埚的内部时,能够容易地测量石英坩埚的外表面与石墨坩埚的内表面之间的间隙的间隔。该测量夹具在为了利用CZ法培育硅单晶锭而将有底筒状...
  • 本发明涉及反应管的清洗方法、半导体器件的制造方法及衬底处理装置。用含氟化合物的药液清洗也能抑制氟化合物残留在反应管内周面。该技术具有:将具有对反应管进行退火第1退火工序、用含第1浓度的氟化合物的液体对第1退火工序后的反应管的内周面进行清...
  • 本发明是一种多层二氧化硅玻璃体的制造方法,所述方法涉及制造在由硅质材料制成的硅质衬底的表面上提供透明二氧化硅玻璃层的多层二氧化硅玻璃体,其中所述多层二氧化硅玻璃体的制造方法包括制备所述硅质衬底的步骤;制备二氧化硅粒子分散在液体中的二氧化...
  • 本发明是一种石英玻璃坩埚,其由底部、弯曲部及直筒部构成,其中,该石英玻璃坩埚具有外层与内层,该外层由含有气泡的不透明石英玻璃构成,该内层由透明石英玻璃构成,所述外层在至少所述直筒部的一部分中由多个层构成,在所述多个层之中,至少一层是易失...
  • 本发明为一种石英玻璃板,其具有石英玻璃板本体与石英玻璃构件,所述石英玻璃构件隔着粘合层而与所述石英玻璃板本体粘合,所述石英玻璃板中,所述粘合层包含二氧化硅,所述粘合层所包含的作为碱金属离子的Li离子、Na离子、K离子与作为碱土类金属离子...
  • 本发明提供一种石英玻璃坩埚,其由底部、弯曲部及直体部构成,其中,所述石英玻璃坩埚具有由含有气泡的不透明石英玻璃构成的外层与由透明石英玻璃构成的内层,所述外层由相同种类的原料粉末、或两种以上不同种类的原料粉末制成,并具有两个以上以所述气泡...
  • 根据低介电常数及低损耗以外还加上特性阻抗的稳定化,提供信号传递速度稳定的石英玻璃纱及石英玻璃布。具有曲率半径5mm以下且弯折角120度以下的弯曲点的缠络的缠络密度为0.10个/cm以下的石英玻璃纱。上述石英玻璃纱的拉伸强度为2.0GPa...
  • 本发明为一种碳电极,其用于用以制造石英玻璃坩埚的电弧放电,其中,至少在所述碳电极的长度方向的距进行所述电弧放电的前端部50mm~130mm的范围内,在所述碳电极的表面上形成有凹部图案及凸部图案中的至少任意一种。由此,提供一种在石英玻璃坩...
  • 本发明为一种铸模,其用于通过旋转模塑法制造石英玻璃坩埚,在所述铸模的内表面的至少直体部上具有相对于铸模旋转轴为同心圆形的多个槽,且该同心圆形的多个槽为不贯穿所述铸模的非贯穿槽。由此,提供一种铸模,该铸模在用于通过旋转模塑法制造石英玻璃坩...
  • 本发明提供一种制造中空多孔石英玻璃基底材料的方法,和一种制造合成石英玻璃圆筒的方法,其中即使在以大的重量和高容积密度制造所述中空多孔石英玻璃基底材料(烟灰体)时,仍能保持目标取出的容易性并且稳定地进行目标取出,并且能够制造大的重量的烟灰...
  • 本发明提供适宜用于安装有放射波长范围为200nm以上且350nm以下的紫外线的紫外线LED的表面安装型封装体(SMD)的气密密封及透射窗材料的紫外线SMD型LED元件的气密密封用石英玻璃构件。本发明的气密密封用石英玻璃构件以内部无边界且...