石英玻璃板制造技术

本发明专利技术为一种石英玻璃板，其具有石英玻璃板本体与石英玻璃构件，所述石英玻璃构件隔着粘合层而与所述石英玻璃板本体粘合，所述石英玻璃板中，所述粘合层包含二氧化硅，所述粘合层所包含的作为碱金属离子的Li离子、Na离子、K离子与作为碱土类金属离子的Ca离子的浓度的合计为10质量ppm以下。由此，可提供一种石英玻璃板，其能够形成均匀厚度的段差，且不易因包含紫外线的光的照射而发生破损。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】石英玻璃板
本专利技术涉及一种石英玻璃板。
技术介绍
半导体制程的光刻(photolithography)工序中，通过使涂布有光刻胶的硅晶圆曝光而进行图案形成。若此时所使用的掩模(mask)上有损伤等，则曝光时会在图案中出现缺陷，因此出于防止上述情况的目的，通常在掩模上安装护膜(pellicle)。护膜中的护膜板以利用粘合剂固定在框状的框架上的形式来进行利用。近年来，光刻的精细化也得到不断发展，波长更短且能量较大的紫外线逐步得到利用，关于框架和粘合剂，也逐渐需要其为具有较高的耐热性、耐紫外线性的材料。进一步，对掩模安装护膜并进行曝光时，若用于曝光的光的光程长度发生改变，则图案会发生错位，因此对粘合于护膜板上的框架的表面精度也有严格要求。例如，专利文献1中报告了一种将具有高耐热性、耐紫外线性的石英玻璃利用于护膜板与框架的方法。然而，由于粘合护膜板与框架时，将紫外线固化树脂用作粘合剂，因此粘合强度因短波长的紫外线而下降，从而发生剥离等。进一步，若照射能量较大的紫外线，则紫外线固化树脂会热膨胀而发生剥离或变形，因此框架的精度也会变差。正在寻求一种对紫本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英玻璃板，其具有石英玻璃板本体与石英玻璃构件，所述石英玻璃构件隔着粘合层而与所述石英玻璃板本体粘合，所述石英玻璃板的特征在于：/n所述粘合层包含二氧化硅，/n所述粘合层所包含的作为碱金属离子的Li离子、Na离子、K离子与作为碱土类金属离子的Ca离子的浓度的合计为10质量ppm以下。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180418 JP 2018-0801761.一种石英玻璃板，其具有石英玻璃板本体与石英玻璃构件，所述石英玻璃构件隔着粘合层而与所述石英玻璃板本体粘合，所述石英玻璃板的特征在于：
所述粘合层包含二氧化硅，
所述粘合层所包含的作为碱金属离子的Li离子、Na离子、K离子与作为碱土类金属离子的Ca离子的浓度的合计为10质量ppm以下。


2.根据权利要求1所述的石英玻璃板，其特征在于，对于隔着所述粘合层而与所述石英玻璃构件粘合的所述石英玻璃板本体，在照射总能量超过0kJ/cm2且为20000kJ/cm2以下的范围内照射紫外线时，双折射...

【专利技术属性】
技术研发人员：森龙也，佐藤彰，嶋田敦之，横泽裕也，吉田宜正，
申请(专利权)人：信越石英株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP