本发明公开了一种减少背部颗粒的技术。在一个具体的示例性实施例中，该技术可以作为减少背部颗粒的装置实现。该装置可包含输送机构，配置该输送机构以向晶片平台（ｐｌａｔｅｎ）提供清洁物质，其中晶片平台安置在工艺室内。该装置也可包含控制单元，配置...