本发明公开了乙烯与硅烷反应的氯基SiC‑CVD外延制程尾气FTrPSA回收与循环再利用方法，属于半导体材料与半导体制程环保领域，以解决现有的SiC‑CVD外延制程制备成本高，无法从尾气中回收再利用的问题，通过预处理、浅冷氯硅烷吸收、浅冷...

本发明公开了SiC‑CVD无氯外延含低浓度硅烷与C2+尾气FTrPSA提氢与循环再利用方法，通过预处理、中温变压吸附除杂、吸附净化、变压吸附提氢、氢气纯化及中浅冷油吸收工序，将来自无氯SiC‑CVD外延制程中产生的含低浓度硅烷与C2+尾...

本发明公开了一种氯基SiC‑CVD制程尾气为反应循环气的FTrPSA可调节分离方法，属于碳化硅晶体及薄膜外延的CVD生长过程中的尾气回收与循环再利用技术领域；该方法包括原料气预处理、氯硅烷喷淋吸收、中温变压吸附浓缩、多级蒸发/压缩/冷凝...

本发明公开了低浓度硅烷/C2+氯基SiC‑CVD外延尾气FTrPSA提氢与循环再利用方法，通过中温变压吸附提纯与浅冷变压吸附浓缩与精馏、化学吸附纯化耦合，并经预处理、压缩冷凝、中温变压吸附提纯、吸附纯化、变压吸附提氢、氢气纯化、中浅冷精...

本发明公开了一种氟基SiC‑CVD晶体与薄膜生长制程尾气FTrPSA全组分回收再利用方法，涉及第三代半导体材料碳化硅(SiC)晶体及薄膜外延生长过程中的尾气中有效组分的回收以及返回到半导体制程循环使用的环保领域，采取氯硅烷喷淋吸收、C2...

本发明公开一种含HF工业尾气FTrPSA有效组分回收再利用的方法，涉及含氟工业尾气净化环保领域，本发明以含HF、SiF

本发明公开了一种氟硅酸法生产无水HF精制的FTrPSA深度脱水除杂的分离与净化方法，涉及氟硅酸法生产无水氟化氢(AHF)精制过程中脱水与除杂的分离与净化方法，利用氟硅酸法制备AHF过程中反应产生的反应气及其经过洗涤与冷凝后得到的不凝气体...

本发明涉及以含高浓度氟化氢的工业级氯化氢气体为原料制备电子级HCl的净化提纯技术领域，具体涉及一种含高浓度HF的HCl气体深度脱氟干燥的FTrPSA分离与净化方法，利用工业级氯化氢气体中有效组分HCl与大量的氟化氢、少量的水，以及微量或...

本发明公开了一种采用PSA尾气催化燃烧供热的甲醇、水制氢装置，涉及水蒸气重整制氢设备技术领域，包括甲醇储槽、脱盐水槽、催化燃烧室和甲醇制氢系统，催化燃烧室包括壳体，壳体内设置有烟气循环室、转化器、汽化过热器、换热器和催化燃烧器，使尾气的...

本发明公开了乙烯与硅烷反应的SiC

本发明公开一种用于变压吸附的集装格及方法，涉及气体净化与分离领域，用于制氢工艺中提纯氢气，包括集装格体，集装格体内设置有吸附柱组，吸附柱组包括吸附柱，同一组吸附柱的进气口和出气口并联设置，吸附柱通过支撑底架和固定架固定在集装格体内；其方...

本发明公开了一种利用含乙烯的氯基CVD晶体薄膜生长制程尾气FTrPSA制备氯乙烯的方法，属于氯基硅/碳化硅单晶或外延薄膜生长过程中所产生的尾气综合再利用技术领域；该方法包括原料预处理、氯硅烷喷淋吸收、中常温变压吸附浓缩、氯氧化反应、ED...

本发明公开了一种甲醇制氢用转化反应器及一体化甲醇制氢系统，属于甲醇制氢技术领域；该甲醇制氢系统包括转化反应器、回收净化系统和原料配置计量系统，所述原料配置计量系统包括原料液计量泵和脱盐水计量泵，所述回收净化系统内部从下到上依次设有分离段...

本发明公开了一种可调节天然气直裂解循环反应气氢碳比的提氢方法，以甲烷催化热裂解制氢所得的反应混合气体作为原料气，原料气经过预处理后进入提氢系统，经过提氢系统后得到氢气产品和循环反应气；当提氢系统为PSA提氢系统时，通过调节吸附时间的长短...

本发明公开了一种甲醇直裂解制备H

本发明公开了一种用于LED‑MOCVD制程含氨尾气净化的催化剂，其组成为，镍钴双金属催化剂制备前驱体为硝酸镍和硝酸钴混合溶液，助催化剂前驱物为硝酸镧与硝酸钾混合溶液，载体为经预处理的多层碳纳米管与氧化镁混合物，通过醇热法，通过醇热法，获...

本发明公开了一种用于天然气直裂解制备H

本发明公开了一种全效利用的天然气中低温直裂解循环制氢的方法，进料气进入装载有活性金属组分的碳纳米管催化剂的甲烷催化热裂解反应器‑A中进行催化热裂解反应，所生成的反应混合气体从反应器‑A出口端流出，经冷凝冷却与过滤后进入变压吸附提氢步骤，...

本发明公开了一种甲醇直裂解制备H

本发明公开了一种甲醇直裂解制备与分离可调节H