本发明涉及一种基于频闪干涉视觉的微机械动态特性与可靠性测量仪器。该仪器融合了频闪照明、相移干涉、微视觉、计算机同步控制技术以及精确环境控制技术，主要包括计算机、频闪光源、偏振型泰曼格林（Ｔｗｙｍａｎ－Ｇｒｅｅｎ）干涉仪、相移器及其驱动器...