本发明提供了一种电子级砷烷中痕量金属杂质含量的取样装置，其特征在于，包括样品管路和吹扫气体管路，所述的样品管路包括砷烷钢瓶、冷却盘管、取样瓶和真空发生器，所述的砷烷钢瓶的瓶阀通过管路连接设于冷阱中的冷却盘管的一端，冷却盘管的另一端通过管...

本发明提供了一种三甲基铝的安全输送装置，其特征在于，包括三甲基铝源瓶，所述的三甲基铝源瓶分别连接第一推送气体入口管路、第一三甲基铝源出口管路、第一吹扫气源入口管路和第一排放出口管路。本发明能够彻底消除安全隐患，保证三甲基铝源供应的纯度，...

本发明公开了一种处理高纯砷烷钢瓶的方法：将多个待处理钢瓶顶部的阀门出口通过钢瓶接头连接到主管路上；将装有砷烷的源气钢瓶和冷阱收集钢瓶的阀门出口通过钢瓶接头连接到主管路上；使用高纯氦气对主管路进行置换，确保管路不受污染，然后使用真空泵对主...

本发明提供了一种电子级砷烷中磷烷杂质含量的分析装置和方法。所述的电子级砷烷中磷烷杂质含量的分析装置，其特征在于，包括十通阀、定量环、第一分离分析柱、第二分离分析柱和检测器，十通阀的10号口与载气进口连通，十通阀的9号口连接第一分离分析柱...

本发明提供了一种电子级氯气的提纯方法，其特征在于，包括：将工业级的纯度为99％的液态氯引入到第一精馏塔的中间位置进行精馏，以除去轻组分；从第一精馏塔再沸器底部出来的液体用泵引入到第二精馏塔的中间位置进行精馏，经第二再沸器加热产生的氯气经...