本实用新型公开了一种多晶硅生产的氯硅烷回收系统，包括低压尾气冷凝单元、压缩机、冷凝器、气液分离罐和氯硅烷贮槽，低压尾气冷凝单元的出气口与压缩机的进气口连通，压缩机的出气口与冷凝器的热介质入口连通，冷凝器的热介质出口与气液分离罐的进料口连...

本实用新型公开了多晶硅还原炉电极四氟护套耐压试验装置，其包括耐压电阻、电流表、耐压接触器，耐压接触器的进线端与还原炉高压启动系统中升压变压器的并联公共端连接，耐压接触器的出线端依次与耐压电阻和电流表串联后接地。优点在于：高压启动过程中对...

本实用新型公开了一种用于还原氯硅烷提纯的精馏节能装置，包括液相还原氯硅烷储槽、第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔、第一再沸器、第一塔釜泵、第二回流罐、第一回流泵、第二回流泵、第三再沸器、第三冷凝器、第三回流罐、第三回流泵、第三塔釜泵；液...

本实用新型公开了一种用于实验室标准混合气体配制的装置，其包括至少三个并联的气体进气分管、减压流量计、隔离阀、混合气总管、液体进样口、真空压力表、真空泵、混合器、气相色谱分析仪、标准气体钢瓶；在每个气体进气分管上均依次设置有减压流量计和隔...

本实用新型公开了一种硅烷分解尾气中氢气回收系统，其包括至少两个吸附柱；吸附柱的出口三通阀的一个端口与氢气压缩机的进气口连通，氢气压缩机的出气口与氢气储罐的进气口连通。优点：通过每个吸附柱之间进行吸附和脱附两种模式交替切换，利用氢气压缩机...

本实用新型公开了一种用于固定设备的地脚固定装置，其包括套筒、悬架、螺杆和悬挂绳，在设备地脚下方的地基中预埋有套筒，在套筒的顶部固定有顶盖，在套筒的内部固定有悬架，在悬架中部设置有竖直设置的通孔；螺杆的底端穿过设备地脚的安装孔、顶盖和通孔...

本实用新型公开了一种电极打磨装置，其包括操作台、电极固定结构、电机和电机支架；电机支架固定在操作台上端，电机竖直固定在电机支架的顶板下端，电机的转轴与位于电机下端的横板固定；电机的外侧固定有与电机转轴同轴的齿圈；在横板上竖直转动设有打磨...

本实用新型公开了一种电解槽小室电压采样装置，包括固定在电解槽的外侧的绝缘固定架，所述绝缘固定架上固定有与电解槽小室数量相对应的电压采样探头，所述电压采样探头的探针与电解槽小室的外壁活动接触。使用绝缘固定架固定电压采样探头，使电压采样探头...

本实用新型公开了一种高纯样品超微量杂质分析处理用防尘盖，其包括锥形盖体和挡杆；在锥形盖体的内壁沿周向均匀固定有至少两根挡杆，在挡杆下方的锥形盖体内壁沿周向固定有集水槽，在集水槽的底部固定有与其连通设置的导流管。优点：本实用新型通过挡杆将...

本发明公开了一种颗粒状多晶硅中O、C、Ⅲ、Ⅴ族元素的检测方法，包括实验样棒制作检测单元、对比样棒制作检测单元和颗粒状多晶硅元素含量计算单元，由于颗粒状多晶硅本身的颗粒性，不具备直接低温红外检测的条件，采用常规的在石英坩埚里直接熔化拉单晶...

本发明公开了一种多晶硅还原炉自动控制方法，通过测温装置和摄像装置采集硅棒温度和还原炉内硅棒生长图像，并上传至工业计算机进行数据记录、图像分析和逻辑运算，获得每一时间段的还原炉电流、还原炉进料量和还原炉配比，进而控制还原炉执行机构动作，实...

本发明公开了一种判断精三氯氢硅质量下滑时间的方法，能准确、快速地确定精三氯氢硅质量下滑的时间，为判断导致精三氯氢硅质量下滑的原因提供可靠参考，具有判断成本低、计算精度高的优点，经实践证明，效果显著，具有较高的推广价值。通过本发明方法能够...

本实用新型公开了多晶硅还原炉视镜输氢孔疏通工具，包括夹持装置和弹性密封筒。本实用新型结构简单，操作方便，可以手工轻松将筒体压紧并插入还原炉视孔内，便于操作使用；在疏通视孔输氢孔时不需要对输氢管切割，免除了切割焊接过程，操作方便简单，可以...

本实用新型公开了一种多晶硅样芯干燥及储存装置，其包括两端开口的筒体、第一端盖、第二端盖、支撑盘、支撑管和限位盘；在筒体的两端分别螺接有第一端盖和第二端盖；在位于第二端盖一侧的筒体内壁上固定设有支撑盘；支撑管贯穿固定在支撑盘上，支撑管与支...

本实用新型公开了一种液体氯硅烷对空取样接头，其包括样品出口管、保护套管、吹扫管，吹扫管上设有控制阀，样品出口管的进口端设有取样接口，样品出口端套设在保护套管内，保护套管的一端与样品出口管的外壁密封连接，保护套管的另一端活动设有保护盖；样...

本发明公开了含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法，其包括如下步骤：(1)氯硅烷一级冷凝；(2)氯硅烷二级冷凝；(3)分离得到硅烷气；(4)气体稳压罐稳压；(5)硅烷气燃烧。本发明的优点在于：回收硅烷尾气中的氯硅烷，回收的氯硅烷可回用于硅烷生产系...

本实用新型公开了一种硅烷尾气燃烧火炬，其包括防辐射隔热罩、防风消音墙、点火器、燃烧器和火焰监控系统，在树杈式燃烧器上方的防辐射隔热罩内部装设有上下设置的第一蒸汽分布器和第二蒸汽分布器，在树杈式燃烧器下方的防辐射隔热罩内部装设有空气吹扫装...

本实用新型公开了一种硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置，其包括底座、物料固定座、固定杆、导向机构、滑动梁和质量缺陷探测仪，在底座顶部固定设有物料固定座，在物料固定座两侧的底座顶部分别固定设有一根竖直设置的固定杆；在两个导向机构之间上下...

本发明公开了一种快速判断气相沉积产品质量缺陷发生时间的方法，其包括如下步骤：(1)确定样品沉积速率方程；(2)确定一般气相沉积反应的速率方程；(3)积分得到气相沉积厚度方程；(4)求得未知修正比例系数a；(5)解得质量缺陷发生时间。本发...

本实用新型公开了硅烷尾气中硅烷含量的测定装置，其包括氢气钢瓶(1)、氢气钢瓶减压阀(2)、样品钢瓶进气阀(3)、样品钢瓶(4)、样品钢瓶排气阀(5)、硅烷标准气体钢瓶(6)、硅烷标准气体钢瓶减压阀(7)、碱液吸收桶(8)、针型阀(9)、...