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富士迈半导体精密工业上海有限公司专利技术
富士迈半导体精密工业上海有限公司共有484项专利
激光切割装置及方法制造方法及图纸
本发明提供一种激光切割装置,用于沿预定方向切割脆性材料基板,该激光切割装置包括:一承载装置,用于承载所述脆性材料基板;一开裂器具,用于在所述脆性材料基板上沿所述预定方向形成预切割线;一激光产生装置,用于产生激光束沿所述预切割线加热所述脆...
脆性材料基板切割方法技术
本发明涉及一种脆性材料基板切割方法。该脆性材料基板切割方法包括以下步骤:提供一个脆性材料基板;利用第一激光束在该脆性材料基板表面形成预切割线,该第一激光束是由固态激光器产生的;利用第二激光束沿着预切割线加热该脆性材料基板;沿着预切割线喷...
激光切割方法技术
本发明提供一种激光切割方法,用于切割脆性材料基板,该方法包括:利用一开裂器具在所述脆性材料基板上形成预切割线;利用激光束沿所述预切割线加热所述脆性材料基板;利用低于零摄氏度的气体冷却所述被加热的脆性材料基板,以使所述脆性材料基板沿所述预...
激光加工方法及相应的激光加工装置制造方法及图纸
本发明涉及一种激光加工方法及相应的激光加工装置。该激光加工方法,其包括以下步骤:提供一加工物,并将该加工物放置于一加工台上;加热该加工物的预加工区域至预定温度;利用激光束加工该加工物已经加热的预加工区域。该激光加工装置包括一个用以承载加...
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