本发明提供一种等离子体汽相沉积设备及其串联式设备。为了能够以高生产率制备（比如说）高质量的ＩＴＯ薄膜，该设备包括一个驱动机构和一个连接于其上的水平旋转的圆形保持板以及一个具有线圈状电极高频激发装置，该圆形保持板具有一个设置在其表面上并与...