由不锈钢箔、树脂和金属箔构成的层叠结构体制造技术

本发明专利技术提供一种由不锈钢箔、树脂和金属箔构成的翘曲少的层叠结构体，在由不锈钢箔、树脂和金属箔的３层结构构成的层叠结构体中，不锈钢箔为具有强磁性相和非强磁性相的混合相，且强磁性相的比例为０．１质量％～４．０质量％。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术可以在以存储装置、电路底座为代表的电子设备用结构物屮使川。特别适用于要求有稳定的位置精度的硬盘驱动器用悬架(suspension) 用层叠结构体。
技术介绍
复合材料、尤其是由金属和树脂构成的层叠结构体由于可以获得单质 不能获得的多个特性而被用于各种领域，并且应用领域也逐渐扩大至轻、 薄的用途。在这些领域中，由于要使元件精度高地发挥磁、电或介电的物理作用， 因此要求支持元件的层叠结构体具有严密的位置精度。例如，作为利用磁 的物理作用的，可列举出硬盘用磁头的支持部；作为应用电的物理作用的， 可列举出挠性印刷基板；作为应用介电的物理作用的，可列举出强电介质 存储用头的支持部等。虽然是在各种领域中使用的层叠结构体，但由于各材料不同的热膨胀 性和热收缩性，因此不能忽视翘曲的影响。特别是随着层叠结构体的厚度 变薄，翘曲的影响变大。在热塑性树脂的情况下，抑制层叠结构体翘曲的方法为升高温度使之 软化，进而用加压装置等对层叠结构体施加压力以补正翘曲，之后冷却树 脂以提高粘性，从而提高粘附力。另一方面，在热固化性树脂的情况下， 用加压装置等对层叠结构体施加压力以补正翘曲，此时再施加温度使之固 化。这些方法在树脂温度高的状态下对翘曲有效，但当温度下降到室温左 右时，就会发生热收縮差引起的变形且不能消除。即使可以消除，为了矫 正翘曲，需要用加压装置长时间加热加压，因此装置的生产率显著降低。对于与硬盘驱动器用悬架层叠结构体相关的现有技术，例如，日本特开2004-303358号公报中提及了树脂层的热膨胀系数和粘接力，日木特开 2005-125588号公报中提及了树脂的粘接力和蚀刻加工性，但如上所述，只 要在制造层叠结构体的过程中经过了为了增加粘接力而加热的工艺，就难 以稳定地降低翘曲。本专利技术记载的技术，即通过不锈钢箔内部的强磁性相 比例的最优化来抑制层叠结构体的翘曲，在现有技术中并没有被提及。
技术实现思路
本专利技术目的在于提供一种由不锈钢箔、树脂和金属箔的3层结构构成、 且翘曲被抑制了的层叠结构体。本专利技术的要点在于一种层叠结构体，其特征在于，在山不锈钢箔、树 脂和金属箔的3层结构构成的层叠结构体中，不锈钢箔为强磁性相和非强 磁性相的混合相，且强磁性相的比例以质量计为0.1% 4.0%。更加优选为 一种层叠结构体，其特征在于，在由不锈钢箔、树脂和金属箔的3层结构 构成的硬盘悬架用层叠结构体中，不锈钢箔为强磁性相和非强磁性相的混 合相，且强磁性相的比例以质量计为0.1% 4.0%，且另外的金属箔为铜箔 或铜合金箔。附图说明图1为表示本专利技术的层叠结构体的构成的截面的示意图。 具体实施例方式以下具体说明本专利技术。图1为表示本专利技术的层叠结构体的构成的截面 示意图。正如从图1可知，本专利技术的层叠结构体1为由不锈钢笵2、金属很 3以及在其间用于粘合两箔的热塑性树脂或热固化性树脂、或者热塑性树脂 和热固化性树脂的复合物4构成的3层结构。金属箔3是与不锈钢箔2不同组成的金属和/或合金的箔。 该层叠结构体1是在不锈钢箔2和与之不同的金属箔3之间涂布用于 粘接的热塑性或热固化性的树脂4后合在一起、之后通过加热使二者粘接 而制成的。通过该加热的粘接温度一般为100 400°C，但不限定于此，可 以根据使用的树脂的固化或塑化温度来适当选择。然而，将构成本专利技术的不锈钢箔和成分不同的金厲箔在二者之间夹入 树脂并进行层叠时，层叠结构体会伴随着热收缩量的差别而发生翘曲。不锈钢箔为强磁性相和非强磁性相的任何一相或为两相混合。强磁性 相的热收缩量小，例如与铜等金属层叠时，有向不锈钢侧翘曲的趋势。另 一方面，非磁性相的热收縮量大，与铜等金属层叠时，有向非不锈钢侧翘 fttl的趋势。如此，由于不锈钢箔的强磁性相的热收縮量小，而非磁性相的热收缩 量大，因而，通过调整它们的相比例，可以控制制成层叠结构体吋的翘曲。 在本专利技术中，强磁性相的比例以质量计为0.1% 4.0%。这是由于，若强磁 性相的比例以质量计不足0.1%，则抑制翘曲的效果小，会向不锈钢箔侧翘 曲，另一方面，若超过4.0%，则容易向金属箔侧翘曲。其中，翘曲的程度 根据层叠结构体的金属箔的种类的不同而不同，但通过在上述范「,1内适当 选择，可以抑制层叠结构体的翘曲。强磁性相的测定方法没有特别的限定，可以利用振动试样型磁力计(VSM)或铁氧体计等。其中，本专利技术中记载的不锈钢箔是指奥氏体类不锈钢或双相不锈钢。 不锈钢在薄化的轧制过程中， 一部分非磁性相诱导转变为磁性相，成为双 相。不锈钢箔的强磁性相的比例可以通过轧制时的軋制率或轧制时的不锈 钢温度等来进行控制。本专利技术中记载的金属箔为与不锈钢箔成分不同的厚度为100pm以下的 金属、合金的总称。特别是，金、银或铜不仅有延展性、易于加工得很薄， 而且导电度高，可以通过蚀刻处理形成电路，进而有导热性和放热作用也 优异的优点。另外，可以通过合金化来改善机械强度。金属箔中，对于铜合金，作为其合金化元素的代表可以使用Ni、 Si、 Mg、 Be等，但并不限定于这些，从保持与Cu单质大致同等的(除机械强 度之外的)物理性质的观点出发，适宜为Cu在卯质量X以上的合金。本专利技术中记载的树脂包括热塑性树脂和热固化性树脂这两者。热塑性 树脂是指热塑性聚酰亚胺、聚苯乙烯、聚乙烯、聚酰胺等，但也不限定于 这些。特别是在耐热性优异的聚酰亚胺的情况下，室温和高温之间的热收 縮量大，本专利技术记载的翘曲的抑制效果好。热固化性树脂是指热固化性聚酰亚胺、尿素树脂、三聚氰胺树脂、酚 醛树脂、环氧树脂、不饱和聚酯、醇酸树脂、聚氨酯树脂、硬质橡胶树脂 等，但并不限定于这些。本专利技术通过需要加热工序的全部树脂发挥效果。 树脂可以是1层，也可以是多层。热塑性树脂层和热同化性树脂层的选择和组合是任意的。树脂的厚度(多层吋为其合计)优选为5pm以上\ 100Mn-, 以下，出于轻量化的目的，更优选为5pm以上 25pm，但也不限定于这些 数值。在近年来显著发展的硬盘驱动器中，随着高密度化，磁头和记录介质 间的间隔日益变窄。1995年左右为100nm的间隙现在已严格化至20nm以 下。另一方面，对于支持磁头的悬架，为了耐振动性而需要轻量化，使用 要求厚度为10(Him以下(一般将10(Him以下的厚度称为箔)的不锈钢。通过本专利技术，可以稳定地制造能够消除由不锈钢箔、树脂和金属箔的3 层结构构成的层叠结构体的翘曲，以及即使薄、由收縮差引起的翘曲所导 致的位置精度的不良情况也少的硬盘驱动器悬架用层叠结构体。实施例以下，基于实施例具体地说明本专利技术。 (实施例1 )将作为不锈钢箔的厚度为20pm、宽度为400mm的SUS304箔和厚度 为20pm的铜箔通过用热塑性聚酰亚胺树脂固化而使之接合(固化温度为 350°C)，观察翘曲的状态。将层叠结构体切断为lm，然后将上端固定，垂 下的层叠结构体的翘曲的最大量相对于垂直面为100mm以下的翘曲判断 为良好。热塑性聚酰亚胺树脂的厚度为5nm、 25pm和100(im。其中，对翘曲良好的样品和不良好的样品中使用的不锈钢箔，分别用 振动试样型磁力计(VSM)装置测定饱和磁通密度，其结果能够确认在非 磁性相中的一定范围下存在强磁性相时可以得到良好的层叠形状。振动试样型磁力计(VSM)装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种层叠结构体，其特征在于，其是由不锈钢箔、树脂和金属箔的３层结构构成的层叠结构体，其中，不锈钢箔为强磁性相和非强磁性相的混合相，且强磁性相的比例以质量计为０．１％～４．０％。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：山本毅，长崎修司，水山淳，中塚淳，
申请(专利权)人：新日铁高新材料，
类型：发明
国别省市：JP[日本]