一种电镀槽装置及电镀设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种电镀槽装置及电镀设备，涉及电镀技术领域，为解决现有技术中电镀槽的清洁度一直无法量化监控的问题而设计；其中，电镀槽装置包括：用于盛放电镀液的电镀槽；电泵；连接于所述电镀槽和电泵之间的分流管；所述分流管包括第一分支和第二分支，其中，所述第一分支的第一端与所述电镀槽连接，所述第一分支的第二端与所述电泵连接；所述第二分支的第一端与所述电镀槽连接，所述第二分支的第二端通过用于过滤所述电镀液的Y型管与所述电泵连接。本实用新型专利技术提供的方案可以通过Y型管对电镀液进行过滤，在因电镀槽清洁度不良而引起铜瘤等可靠性缺陷时，可准确地推测原因以便于快速解决问题，提高生产效率，降低因可靠性缺陷引起停线而造成的损失。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电镀槽装置，包括：用于盛放电镀液的电镀槽；电泵；连接于所述电镀槽和电泵之间的分流管；其特征在于，所述分流管包括第一分支和第二分支，其中，所述第一分支的第一端与所述电镀槽连接，所述第一分支的第二端与所述电泵连接；所述第二分支的第一端与所述电镀槽连接，所述第二分支的第二端通过用于过滤所述电镀液的Y型管与所述电泵连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李小晓，舒明，
申请(专利权)人：北大方正集团有限公司， 重庆方正高密电子有限公司， 方正信息产业控股有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11