本实用新型专利技术公开了一种高低压料仓管道废气处理装置，包括：一高压料仓和一低压料仓，所述高压料仓和低压料仓之间至少设置至少两个盘阀，一尾气管道，所述尾气管道一端连接一吹扫氮气装置，另一端连接一高压料仓过滤器，所述高压料仓过滤器分别通过一溢漏氢气管道和一硅粉回流管道连接一高压料仓，还包括一高氢废气处理单元，所述高氢废气处理单元与所述高压料仓过滤器相互连通。本实用新型专利技术可以使泄露的氢气被氮气吹扫至过滤器，达到氢气安全排放，回收废气中夹带的硅粉循环利用，使系统生产运行更加安全，有效地降低了生产成本。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种高低压料仓管道废气处理装置，包括：一高压料仓和一低压料仓，所述高压料仓和低压料仓之间至少设置至少两个盘阀，一尾气管道，所述尾气管道一端连接一吹扫氮气装置，另一端连接一高压料仓过滤器，所述高压料仓过滤器分别通过一溢漏氢气管道和一硅粉回流管道连接一高压料仓，还包括一高氢废气处理单元，所述高氢废气处理单元与所述高压料仓过滤器相互连通。本技术可以使泄露的氢气被氮气吹扫至过滤器，达到氢气安全排放，回收废气中夹带的硅粉循环利用，使系统生产运行更加安全，有效地降低了生产成本。【专利说明】一种高低压料仓管道废气处理装置
本实用涉及一种高低压料仓管道废气处理装置，应用于多晶硅生产硅粉输送系统。
技术介绍
多晶硅生产STC氯氢化流化床反应器固体进料的实现，需使用硅粉输送系统及中间缓冲装置，分为高压料仓和低压料仓，高压区使用整个氯氢化系统的循环氢气为高压气源，在升压、泄压及硅粉输送过程中由于硅粉对管道和阀门的摩擦比较大，经常有阀门密封面磨损产生内漏，在高压区和低压区，由远程控制的盘阀密封，但密封效果不佳，高压料仓的氢气极易泄露到低压料仓，造成安全隐患和浪费资源。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种高低压料仓管道废气处理装置，应用于多晶硅生产硅粉输送系统，利用该装置可以使高压料仓溢漏的氢气通过氮气吹扫安全排放，防止氢气进入低压硅粉系统，在硅粉输送过程中，使硅粉输送更加通畅，且回收了尾气夹带的的硅粉，起到了节能降耗降低生产成本的作用，极大地增加了系统的安全性和高效性。为达到上述目的，本技术的技术方案如下:一种高低压料仓管道废气处理装置，包括:一高压料仓和一低压料仓，所述高压料仓和低压料仓之间至少设置至少两个盘阀，一尾气管道，所述尾气管道一端连接一吹扫氮气装置，另一端连接一高压料仓过滤器，所述高压料仓过滤器分别通过一溢漏氢气管道和一硅粉回流管道连接一高压料仓，还包括一高氢废气处理单元，所述高氢废气处理单元与所述高压料仓过滤器相互连通。在本技术的一个优选实施例中，所述高压料仓上还设置一高压氢气入口，高压氢气入口通入高压氢气为高压料仓升压。在本技术的一个优选实施例中，所述高压料仓过滤器上还设置一高压反吹氢气入口。通过上述技术方案，本技术的有益效果是:本技术可以使泄露的氢气被氮气吹扫至过滤器，达到氢气安全排放，回收废气中夹带的硅粉循环利用，使系统生产运行更加安全，有效地降低了生产成本。【专利附图】【附图说明】为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的结构示意图。【具体实施方式】为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。参照图1，一种高低压料仓管道废气处理装置，包括:一高压料仓2和一低压料仓1，高压料仓2和低压料仓I之间设置上盘阀4和下盘阀5，其中在上盘阀4和下盘阀5之间管路上设置一尾气管道7，吹扫氮气8通过一氮气管道801连接尾气管道7，其中氮气管道801增设一电磁阀6，控制氮气管道801的通断，尾气管道7另一端连接一高压料仓过滤器3，高压料仓过滤器3分别通过一溢漏氢气管道301和一硅粉回流管道302连接一高压料仓2，还包括一高氢废气处理单元9，高氢废气处理单元9与高压料仓过滤器3相互连通。高压料仓2上还设置一高压氢气入口 201，高压氢气入口通入高压氢气11为高压料仓2升压，高压料仓过滤器3上还设置一高压反吹氢气入口 303，反吹氢气10通过高压反吹氢气入口 303进入高压料仓过滤器3。系统工作流程:当低压料仓I向高压料仓(2)进硅粉的时候，通过高压料仓过滤器3泄压，防止硅粉进入高氢废气处理单元9，且硅粉进入尾气管道7，再到高压料仓过滤器3，再到高压料仓2，防止了硅粉进入高氢废气处理单元，高压反吹氢气10反吹滤芯，回收了硅粉且使硅粉进入高压料仓通畅，管道不易堵塞:当高压料仓2用高压氢气11升压的时候，此时上盘阀4和下盘阀5为关闭状态，由于高压料仓大于低压料仓1，从高压料仓顶部溢漏的氢气通过吹扫氮气8吹扫至废气管道7，再进入高压料仓过滤器3，再到高氢废气处理单元9，防止了氢气进入低压的硅粉干燥系统，并且回收的废气夹带得得硅粉。在原有高压料仓和低压料仓的管道上增加氮气吹扫管道和尾气管道，通过引入0.6MPa氮气的吹扫和尾气放空处理管道，从高压料仓顶部溢漏的氢气通过氮气的吹扫送到高压料仓过滤器，再到高氢废气处理单元予以回收。具有的优点:(1)防止了氢气进入低压区，增加了系统的安全性；(2)回收了氢气和硅粉，起到了节能降耗的作用；(3)通过自动控制连锁使人为工作量较少，管道更通畅，使系统更加的闻效运行:以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。【权利要求】1.一种高低压料仓管道废气处理装置，其特征在于，包括: 一高压料仓和一低压料仓，所述高压料仓和低压料仓之间至少设置至少两个盘阀， 一尾气管道，所述尾气管道一端连接一吹扫氮气装置，另一端连接一高压料仓过滤器， 所述高压料仓过滤器分别通过一溢漏氢气管道和一硅粉回流管道连接一高压料仓， 还包括一高氢废气处理单元，所述高氢废气处理单元与所述高压料仓过滤器相互连通。2.根据权利要求1所述的一种高低压料仓管道废气处理装置，其特征在于:所述高压料仓上还设置一高压氢气入口，高压氢气入口通入高压氢气为高压料仓升压。3.根据权利要求1所述的一种高低压料仓管道废气处理装置，其特征在于:所述高压料仓过滤器上还设置一高压反吹氢气入口。【文档编号】B65G53/50GK203512782SQ201320573341【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年9月16日 优先权日:2013年9月16日 【专利技术者】贾坤, 曹小龙, 徐岩, 卢思恩, 宋安宁, 吕昌彦, 田茂远 申请人:陕西天宏硅材料有限责任公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种高低压料仓管道废气处理装置，其特征在于，包括：一高压料仓和一低压料仓，所述高压料仓和低压料仓之间至少设置至少两个盘阀，一尾气管道，所述尾气管道一端连接一吹扫氮气装置，另一端连接一高压料仓过滤器，所述高压料仓过滤器分别通过一溢漏氢气管道和一硅粉回流管道连接一高压料仓，还包括一高氢废气处理单元，所述高氢废气处理单元与所述高压料仓过滤器相互连通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：贾坤，曹小龙，徐岩，卢思恩，宋安宁，吕昌彦，田茂远，
申请(专利权)人：陕西天宏硅材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61
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