【技术实现步骤摘要】
一种微细孔板电铸装置
本技术涉及一种电铸装置，尤其是微细孔板的电铸装置。
技术介绍
电铸是利用金属的电解沉积原理来精确复制某些复杂或特殊形状工件的特种加工方法。具体步骤是把预先按所需形状制成的电铸模作为阴级，用电铸材料作为阳极，一同放入与阳极材料相同的金属盐溶液中，通以直流电。在电解作用下，电铸模表明逐渐沉积出金属电铸层，达到所需的厚度后从溶液中取出，将电铸层与原模分离，便获得与原模形状相对应的金属复制品。具有大深宽比微沟槽结构的微细孔板的电铸是目前微细加工领域的一个工艺难点，采用常规电铸方法很难获得质量优异的电铸器件，问题的根本主要在于大深宽比结构深沟槽中电沉积反应物质传输严重受阻，容易产生针孔等沉积缺陷。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种能够提高微细孔板电铸效果的电铸装置。为解决上述问题，本技术提供了一种微细孔板电铸装置，包括电铸箱，其特征在于，所述电铸箱内设有作为阳极的金属板，以及作为阴级的芯模，所述电铸箱内还设有真空抽气装置。作为本技术的进一步改进，所述真空抽气装置为单级旋片式真空泵。作为本技术的进一步改进，所述真空抽气装置与电铸箱之间还连接有抽气过滤器。作为本技术的进一步改进，所述电铸箱上还连接有真空表。作为本技术的进一步改进，所述金属板为镍板。作为本技术的进一步改进，所述电铸箱上方还设有透明观察板。本技术的有益效果在于，电铸时，电铸箱中电解液中的金属阳离子获得电子沉积在阴极的芯模上，与此同时，阳极金属在电场的作用下失去电子进入电解液使电解液中金属阳离子的浓度达到平衡，这样随着时间的推延，芯模上金属沉积层就会越来越厚，最终达到所需要...
【技术保护点】
一种微细孔板电铸装置，包括电铸箱，其特征在于，所述电铸箱内设有作为阳极的金属板，以及作为阴级的芯模，所述电铸箱上还连接有真空抽气装置。
【技术特征摘要】
1.一种微细孔板电铸装置，包括电铸箱，其特征在于，所述电铸箱内设有作为阳极的金属板，以及作为阴级的芯模，所述电铸箱上还连接有真空抽气装置。2.根据权利要求1所述的一种微细孔板电铸装置，其特征在于:所述真空抽气装置为单级旋片式真空泵。3.根据权利要求2所述的一种微细孔板电铸装置，其特征在于:所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：范祥荣，
申请(专利权)人：苏州市金翔钛设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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