【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】多叶片节流阀
本专利技术总体上涉及用于处理系统的阀。具体地,本专利技术涉及用于真空系统的节流阀。
技术介绍
已设计多种不同类型的阀用于真空处理系统。阀的类型包括闸阀、蝶阀、多叶阀等。一些闸阀设计成具有打开和关闭位置以使气态流体能完全流过该阀或没有气态流体流过该阀。蝶阀设计相对简单,但实现线性传导响应的能力有限。多叶阀相较蝶阀提供更精确的控制。多叶阀的一个例子在美国专利6,293,306(Brenes,2001)中描述。该专利公开了一种节流闸阀,其包括直立的、通常矩形的阀壳。在阀壳内定位有可线性移动的闸阀,用于堵住在阀壳下部形成的贯通开口。气动执行机构组件用于在打开和关闭位置之间移动闸阀。节流阀组件室形成阀壳的下侧、构成贯通开口的框架及包括一组可旋转定位在贯通开口内的节流叶片。驱动执行机构用于旋转叶片并包括驱动执行机构室和用于控制节流叶片的位置的电动机。驱动执行机构由驱动执行机构伸入阀壳内部处的波纹管护罩密封。另一类型的多叶阀为由MeiVac,Inc、以“Vari-Q”为商标销售的节流阀。MeiVac节流阀包括圆形阀室,其包含多个反向旋转的、三角形(即馅饼形)叶片,这些叶片通过低摩擦线缆驱动系统而互相连接。还有一种类型的多叶阀为由Ferrotec(USA)Corporation、以“Temescal”为商标销售的固定定位的叶片阀,零件号码为0627-0624-0。该多叶阀并非真正意义的阀,因为所有叶片均处于30-45度范围的固定位置,其与低温泵流体连通。这些叶片中的每一个钎焊到横越所有叶片的不锈钢管上。这些叶片用作热屏蔽并将热量传给不锈钢管,其包含在其中流过 ...
【技术保护点】
用于真空处理室的多叶片节流阀,所述阀包括:具有暴露于所述真空处理室的内部和暴露于大气压的外部的节流室主体,所述节流室主体形成用于控制所述真空处理室内的真空的贯通开口;安装在所述贯通开口内以控制气体流过所述贯通开口的多个可旋转叶片,其中每一可旋转叶片包括与其流体连通并沿其纵向设置的冷却流体通路;及设置在所述节流室主体的外部上并与其连接的驱动机构,用于旋转所述多个可旋转叶片以改变工艺气体的流动。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.07.20 US 61/509,765;2012.07.16 US 13/549,7711.用于真空处理室的多叶片节流阀,所述阀包括:具有暴露于所述真空处理室的内部和暴露于大气压的外部的节流室主体,所述节流室主体形成用于控制所述真空处理室内的真空的贯通开口;安装在所述贯通开口内以控制气体流过所述贯通开口的多个可旋转叶片,其中每一可旋转叶片包括近端支撑件、远端支撑件和延伸穿过近端支撑件和远端支撑件中的至少一个的冷却流体通路,所述冷却流体通路与每一可旋转叶片流体连通并沿其纵向设置;其中每一可旋转叶片的冷却流体通路在所述节流室主体外面延伸并延伸到具有冷却液供给口和冷却液返回口的旋转适配器内;其中近端支撑件可旋转地连接到旋转适配器,每一旋转适配器暴露于大气压力,及每一可旋转叶片的冷却流体通路通过旋转适配器的冷却液供给口和冷却液返回口与相邻可旋转叶片流体连通,其中冷却流体通路形成通过多个可旋转叶片的连续流路;及设置在所述节流室主体的外部上并与其连接的驱动机构,用于旋转所述多个可旋转叶片以改变工艺气体的流动;所述驱动机构能够同时旋转固定连接到所述多个可旋转叶片的每一近端支撑件的旋转臂。2.根据权利要求1所述的多叶片节流阀,其中所述冷却流体通路为沿可旋转叶片纵向设置的冷却管道。3.根据权利要求2所述的多叶片节流阀,其中所述冷却管道选自下组:直管、正弦曲线形管、方波形管、一对纵向管道并在一端具有连接该对纵向管道的横向管道、在内管和外管之间形成流路的一对同心管道、及纵向热管。4.根据权利要求1所述的多叶片节流阀,其中所述多个可旋转叶片中的每一叶片包括沿其纵向设置并串行互连以形成单一连续流路的冷却管道。5.根据权利要求1所述的多叶片节流阀,其中所述驱动机构包括驱动臂、固定连接到每一可旋转叶片的旋转臂、及使一可旋转叶片的旋转臂与串联的相邻可旋转叶片的旋转臂枢轴连接的连杆臂,其中一连杆臂连接到所述驱动臂。6.根据权利要求5所述的多叶片节流阀,其中所述旋转臂的一端连接到可旋转叶片及另一端连接到所述连杆臂。7.根据权利要求1所述的多叶片节流阀,还包括连到所述多个可旋转叶片中的每一叶片的碎屑罩。8.根据权利要求1所述的多叶片节流阀,其中所述节流室主体包括第一法兰模板、第二法兰模板及连接在所述第一法兰模板和所述第二法兰模板之间的叶片室外壳,所述叶片室外壳包含所述多个可旋转叶片。9.根据权利要求8所述的多叶片节流阀,其中所述叶片室外壳包括顶板、底板、第一室侧壁、第二室侧壁、及连到第一室侧壁...
【专利技术属性】
技术研发人员:P·辛,
申请(专利权)人:磁性流体技术美国公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。