一种扫描标准具制造技术

本发明专利技术涉及光学光学与激光领域，公开了一种扫描标准具，包括输入光纤、光波导和MEMS活动片；光波导位于输入光纤与MEMS活动片之间，一端与输入光纤光胶连接，另一端靠近MEMS活动片；输入光纤端面和MEMS活动片均镀高反膜，构成标准具的两个腔面；MEMS活动片的平移活动改变两腔面的间距，形成扫描标准具。该结构利用光纤端面与MEMS活动片构成扫描标准具的两个腔面，通过MEMS活动平片的移动实现扫描功能，且光波导端面与MEMS腔面间距极小，使得光纤端面与MEMS腔面的平行度对标准具精度的影响大大降低，从而可降低对两腔面平行度的要求，使得标准具的制作更加容易。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及光学光学与激光领域，公开了一种扫描标准具，包括输入光纤、光波导和MEMS活动片；光波导位于输入光纤与MEMS活动片之间，一端与输入光纤光胶连接，另一端靠近MEMS活动片；输入光纤端面和MEMS活动片均镀高反膜，构成标准具的两个腔面；MEMS活动片的平移活动改变两腔面的间距，形成扫描标准具。该结构利用光纤端面与MEMS活动片构成扫描标准具的两个腔面，通过MEMS活动平片的移动实现扫描功能，且光波导端面与MEMS腔面间距极小，使得光纤端面与MEMS腔面的平行度对标准具精度的影响大大降低，从而可降低对两腔面平行度的要求，使得标准具的制作更加容易。【专利说明】一种扫描标准具
本专利技术涉及光学与激光领域，尤其涉及一种扫描标准具。
技术介绍
标准具作为一种重要光学元件，广泛应用于通讯、光学测量领域。常规的标准具有两种，一是空气隙标准具，该空气隙标准具为空气隙或真空；二是直接在光学材料平行平片两面镀膜形成标准具。这两种标准具无一不对光学反射面的平行度要求极高，这无疑大大增加了标准具的加工难度和成本。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术提出一种光纤扫描标准具，对平行度要求较低，且制作容易。为达到上述目的，本专利技术提出的技术方案为:一种扫描标准具，包括输入光纤、光波导和MEMS活动片；所述光波导位于输入光纤与MEMS活动片之间,一端与输入光纤光胶连接，另一端靠近MEMS活动片；输入光纤端面和MEMS活动片均镀高反膜，构成标准具的两个腔面；MEMS活动片的平移活动改变两腔面的间距，形成扫描标准具。进一步的，所述光波导靠近MEMS活动片的端面镀增透膜，与MEMS活动片距离为1~2微米。进一步的，所述MEMS活动片镀膜面的反射率为90%~99.5%。进一步的，所述输入光纤由一光纤头固定；所述MEMS活动片由一设有通光孔的固定片固定；固定片后面设有微透镜和光接收端；经所述标准具滤波之后的输出光由通光孔输出，经微透镜会聚进入光接收端。进一步的，所述光接收端为光纤接收器或ro探测器。进一步的，所述光波导长度为10-50微米。进一步的，所述光波导为一光纤段，或者一毛细管。本专利技术的另一技术方案为一种扫描标准具，包括输入光纤和MEMS活动片；所述输入光纤为TEC光纤,光纤端面纤芯处刻蚀一凹槽,凹槽面设有微凹面镜或微凸面镜，镜面镀有高反膜，与MEMS活动片构成标准具的两个腔面，MEMS活动片的移动改变两腔面的间距，形成扫描标准具。进一步的，所述MEMS活动片由一设有通光孔的固定片固定；固定片后面设有微透镜和光接收端；经所述标准具滤波之后的输出光由通光孔输出，经微透镜会聚进入光接收端；所述光接收端为光纤接收器或ro探测器。进一步的，所述凹槽深度为广20微米；所述TEC光纤的光纤端面与MEMS活动片距离为5~50微米；所述微凹面镜或微凸面镜的曲率半径为20-50微米。本专利技术的有益效果为:本专利技术采用光纤端面与MEMS端面作为标准具的两个腔面，且光纤端面与MEMS腔面间距极小，使得光纤端面与MEMS腔面的平行度对标准具精度的影响大大降低，从而可降低对两腔面平行度的要求，使得标准具的制作更加容易。【专利附图】【附图说明】图1为本专利技术的扫描标准具实施例一结构示意图； 图2为本专利技术的扫描标准具实施例二结构示意图。附图标记:1、输入光纤；2、MEMS活动片；3、光波导；4、光纤头；5、固定片；51、通光孔；6、微透镜；7、光接收端；8、TEC光纤；81、微凹面镜；S1、高反膜；S2、增透膜。【具体实施方式】下面结合附图和【具体实施方式】，对本专利技术做进一步说明。 本专利技术的扫描标准具，利用光纤端面与MEMS活动片构成扫描标准具的两个腔面，通过MEMS活动平片的移动实现扫描功能。在光纤端面与MEMS活动片之间设置一光波导，与光纤端面深化光胶，光波导另一端面与MEMS活动片间距极小，使得光纤端面与MEMS活动片腔面的平行度对标准具精度的影响大大降低，从而可降低对两腔面平行度的要求，使得标准具的制作更加容易。或者是在光纤端面纤芯处制作微凹面镜或微凸面镜，并镀高反膜，与MEMS活动片构成扫描标准具的两个腔面，在较短距离内，光通过微凹面镜或微凸面镜反射后仍近似平行，可获得较佳的光斑尺寸，即近似在微凹面镜或微凸面镜与MEMS活动片之间形成振动腔，降低标准具对平行度的要求，从而使得标准具的制作更加简便容易。具体的，如图1所示的实施例一，包括输入光纤1、光波导3和MEMS活动片2，光波导3位于输入光纤I与MEMS活动片2之间,一端与输入光纤I光胶连接，另一端靠近MEMS活动片2 ;输入光纤I端面和MEMS活动片2均镀高反膜SI,构成标准具的两个腔面；MEMS活动片2的移动改变两腔面的间距,形成扫描标准具。其中，输入光纤I由一光纤头4固定；MEMS活动片2由一设有通光孔51的固定片5固定；固定片5后面设有微透镜6和光接收端7 ;经所述标准具滤波之后的输出光由通光孔51输出，经微透镜6会聚进入光接收端7，其中，光接收端7采用的是H)探测器，也可以采用光纤接收器。光波导3靠近MEMS活动片2的端面镀增透膜S2，与MEMS活动片2距离L2为f 2微米，MEMS活动片2镀膜面的反射率为90%~99.5%，优选的，光波导3的长度LI为10~50微米。本实施例中，光波导3采用的是一光纤段，也可采用毛细管替代。光波导3 —端面与MEMS活动片2的间距极短，因此光纤端面与MEMS活动片2腔面的平行度对标准具精度的影响将大大降低，从而降低了标准具对两腔面平行度的要求，使得标准具的制作更容易。同时，由于MEMS活动片可实现平移而改变标准具两腔面间的距离，从而实现扫描标准具的功能。本实施例中，作为光波导3的光纤段与输入光纤的光胶连接方式如下，可以先在输入光纤I端面镀高反膜SI,再将光纤段与输入光纤I深化光胶,然后将光纤段抛光到所需长度，最后在光纤段的抛光面镀增透膜S2。如图2所不为本专利技术的实施例二,包括输入光纤和MEMS活动片2 ;输入光纤米用TEC光纤8，光纤端面纤芯处刻蚀一凹槽，凹槽面设有微凹面镜81或微凸面镜，镜面镀有高反膜，与MEMS活动片2构成标准具的两个腔面，MEMS活动片2的移动改变两腔面的间距，形成扫描标准具。其中，MEMS活动片2由一设有通光孔51的固定片5固定；固定片5后面设有微透镜6和光接收端7 ;经该标准具滤波之后的输出光由通光孔51输出，经微透镜6会聚进入光接收端7。本实施例中，光接收端7采用ro探测器，也可以采用光纤接收器。优选的，凹槽深度为广20微米；TEC光纤8的光纤端面与MEMS活动片2距离为5~50微米；微凹面镜81或微凸面镜的曲率半径为20-50微米。在此距离内，光通过微凹面镜81或微凸面镜反射后仍近似平行，可获得较佳的光斑尺寸，即近似在微凹面镜或微凸面镜与MEMS活动片之间形成振动腔，降低了标准具对两腔面平行度的要求，使得标准具的制作更容易。本实施例中，微凹面镜81或微凸面镜的制作方法如下，现在TEC光纤8端面纤芯处通过刻蚀形成一凹槽，凹槽深度在广20微米之间，然后在光纤端面除凹槽外的部分镀高反膜，再在凹槽中注入气溶胶，如Si02等，当气溶胶与高反膜浸润时，由于表面张力作用，气溶胶自然固化后形成微凹面镜；当气溶胶与高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描标准具，其特征在于：包括输入光纤、光波导和MEMS活动片；所述光波导位于输入光纤与MEMS活动片之间，一端与输入光纤光胶连接，另一端靠近MEMS活动片；输入光纤端面和MEMS活动片均镀高反膜，构成标准具的两个腔面；MEMS活动片的移动改变两腔面的间距，形成扫描标准具。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴砺，贺坤，刘国宏，林磊，李阳，陈燕平，
申请(专利权)人：福州高意通讯有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35