一种低损耗MEMS光开关制造技术

本实用新型专利技术公开一种低损耗的MEMS光开关，包括壳体和依次排列封装在壳体内部的二维光纤阵列、渐变折射率透镜和MEMS微镜；所述二维光纤阵列包括一个光纤输入端口和多个光纤输出端口；本实用新型专利技术采用包含渐变折射率透镜的组合透镜来代替现有的单准直透镜，极大优化光学系统像差的同时，提升了光纤阵列的横向扩展尺寸，实现低插损高端口数目的小尺寸高性能MEMS光开关。MEMS光开关。MEMS光开关。

【技术实现步骤摘要】
一种低损耗MEMS光开关


[0001]本技术涉及光通讯器件领域，具体涉及一种低损耗的 MEMS 光开关。

技术介绍

[0002]相较于其它技术平台的光开关，因具有损耗低、尺寸小和切换速度快等显著优势，MEMS 光开关已成为光开关产品系列中的主流。现有基于 MEMS 的光开关普遍采用二维光纤阵列（含腐蚀光纤阵列）、单准直C透镜和 MEMS 反射镜组合的技术方案。其中，二维光纤阵列作为光信号的输入和输出端，单准直C透镜作为光束的耦合变换元件，MEMS 反射镜作为光信号切换的控制元件，通过 MEMS 反射镜的二维旋转，实现光信号在二维光纤阵列各输出端口间的自由切换。
[0003]单准直C透镜轴外像差较大。随着轴外距离的增加，光信号的耦合效果也随之变差。传统的 MEMS 光开关受单准直透镜的像差限制，若想增加输入输出光纤的数目，只能采用更小外径的光纤。但当光纤的外径减小到一定水平时，光纤易发生断裂，从而影响器件的可靠性。上述因素限制了传统 MEMS 光开关的端口数目。
[0004]传统的 MEMS 光开关通常采用一对C透镜组解决大轴外像本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低损耗 MEMS 光开关，其特征在于，包括壳体和依次排列封装在壳体内部的二维光纤阵列、渐变折射率透镜和MEMS微镜；所述二维光纤阵列包括一个光纤输入端口和多个光纤输出端口，其与渐变折射率透镜对应一侧为斜面，所述渐变折射率透镜对应二维光纤阵列的斜面设有与之对应的斜面；光信号从二维光纤阵列的光纤输入端口输入，穿过渐变折射率透镜，被MEMS微镜反射后，再次穿过渐变折射率透镜，耦合进光纤输出端口输出。2.一种低损耗 MEMS 光开关，其特征在于，包括壳体和依次排列封装在壳体内部的二维光纤阵列、玻璃棒、渐变折射率透镜和MEMS微镜；所述二维光纤阵...

【专利技术属性】
技术研发人员：李阳，陈立勋，徐云兵，邓伟松，薛听雨，
申请(专利权)人：福州高意通讯有限公司，
类型：新型
国别省市：