用于开方机的托盘组件及具有其的开方机制造技术

技术编号:9801903 阅读:75 留言:0更新日期:2014-03-23 03:58
本实用新型专利技术提供了一种用于开方机的托盘组件及具有其的开方机。其中,托盘组件包括:晶托(10),具有硅块承载面(11);第一定位基准件(20),设置在硅块承载面(11)上。本实用新型专利技术的技术方案有效地提高了开方处理后的硅块的切割效率。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
用于开方机的托盘组件及具有其的开方机
本技术涉及多晶硅片制造
,具体而言,涉及一种用于开方机的托盘组件及具有其的开方机。
技术介绍
目前,多晶硅片的加工工序主要是:在坩埚内铸成大块的立方体硅锭,将大块的立方体硅锭送入开方机内进行开方处理,通过开方机内的切割线将大块的立方体硅锭切割成小块的立方体硅块,将小块的立方体硅块经过特殊处理后送入硅片切割设备中,通过硅片切割设备的切割线将小块的立方体硅块切割成硅片。开方机的切割线包括相互垂直的切割经线和切割纬线,将大块的立方体硅锭直接放到开方机的的晶托上,切割线从晶托的上方沿垂直方向向硅块移动并且对硅块进行切割。由于多晶硅铸锭环节为了大幅降低生产成本,使得铸造更大更重的硅锭成为其发展的一个重要方向,相应的开方处理后的硅块也变得越来越长,这就造成了开方处理后的硅块与现有硅片切割设备的不匹配,则必须截短该硅块来适应原硅片切割设备,这种改变引出了三个问题:第一,硅块截断的任务量大幅增加,由于原带锯或内圆锯均属于逐块逐刀加工方式,加工效率较低,人工搬运硅块的劳动量大。第二,由于多晶硅锭体积变大,开方机单位时间完成的硅块开方工量增加,产能出现远远超过原带锯或内圆锯截断硅块的产能,造成开方机利用率降低;第三,带锯或内圆锯所截断的硅块,中间断面垂直度较差,切割质量比较差,因此,直接导致后续硅片切割过程中的严重质量问题。此外,由于大块的立方体硅锭的顶部和底部的成分不符合规定,因此,开方处理后的小块的立方体硅块的两端需要截去,这样,增加了原带锯或内圆锯的负荷。
技术实现思路
本技术旨在提供一种有效提高开方处理后的硅块切割效率的用于开方机的托盘组件及具有其的开方机。为了实现上述目的,根据本技术的一个方面,提供了一种用于开方机的托盘组件,包括:晶托,具有硅块承载面,托盘组件还包括:第一定位基准件,设置在硅块承载面上。进一步地,硅块承载面具有至少三个彼此独立的承载区域,相邻两个承载区域之间形成间隙区域,第一定位基准件为多个,任一第一定位基准件设置在任一相应的间隙区域内,并作为相邻两个承载区域的共用定位基准件。进一步地,至少三个承载区域均沿第一方向延伸并且彼此平行设置,多个第一定位基准件均沿第一方向延伸并且彼此平行设置。进一步地,各承载区域均包括多个彼此独立的分承载区域,各承载区域中的多个分承载区域均沿第一方向延伸并且沿第一方向间隔设置。进一步地,还包括:按压组件,包括按压件,按压件在垂直于硅块承载面的方向上可移动地设置在硅块承载面的上方。进一步地,按压组件还包括:垫块,设置在按压件上,垫块位于按压件与硅块承载面之间。进一步地,按压组件还包括:导向杆,第一端设置在硅块承载面或第一定位基准件上,导向杆的第二端具有第一外螺纹,按压件具有避让导向杆的避让通孔;螺母,具有与第一外螺纹配合的第一螺纹孔以及止挡按压件的端壁。进一步地,螺母上设置有两个凸耳,两个凸耳相对于第一螺纹孔的轴线对称设置。进一步地,还包括:多个按压组件,各按压组件均包括按压件,按压件在垂直于硅块承载面的方向上可移动地设置在硅块承载面的上方,各分承载区域对应至少一个按压件。进一步地,第一定位基准件由多个沿第一方向间隔设置的分定位基准件组成,在第一方向上相邻的两个分定位基准件之间具有避让开方机的切割经线的第一避让间隙。进一步地,硅块承载面具有避让开方机的切割经线的第一避让通槽以及避让开方机的切割纬线的第二避让通槽,第一避让通槽沿第一方向延伸,第二避让通槽与第一避让通槽垂直,第一避让通槽和第二避让通槽均为多个。进一步地,还包括:定位基座,具有第一定位面,第一定位面上设置有至少两个定位凸起,晶托具有与硅块承载面相对的第二定位面,第二定位面上设置有至少两个定位凹槽,至少两个定位凹槽与至少两个定位凸起一一对应设置。进一步地,还包括多个止挡硅块的止挡件,各承载区域均具有沿第一方向相对的第一端和第二端,第一端和第二端均对应至少一个止挡件。进一步地,还包括:多个硅块盛放架,各硅块盛放架与晶托连接,各硅块盛放架均具有硅块承载部,各硅块承载部设置有第二定位基准件,多个硅块承载部中的相邻两个硅块承载部之间具有避让开方机的切割线的第二避让间隙。根据本技术的另一方面,提供了一种开方机,包括底座和与底座可拆卸连接的托盘组件,其特征在于,托盘组件为上述的用于开方机的托盘组件。应用本技术的技术方案,将经过开方处理后的小块立方体的硅块放置在硅块承载面,由于该硅块的体积相对于开方处理之前小了很多,为了将该硅块放置在对应切割线的位置,因此,将该硅块贴靠在第一定位基准件的一侧,很方便快捷的实现将该硅块放置在对应切割线的位置。第一定位基准件起到了确定位置的作用。由上述分析可知,本技术的用于开方机的托盘组件能使开方处理后的硅块很方便快捷地放置到对应切割线的位置,并且通过切割线将该硅块截断成需要的尺寸。因此,本技术的用于开方机的托盘组件有效地提高了开方处理后的硅块的切割效率。【附图说明】构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解,本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术,并不构成对本技术的不当限定。在附图中:图1示出了根据本技术的用于开方机的托盘组件的实施例一的主视示意图(图中仅示出晶托、第一定位基准件、止挡件和承载区域);图2示出了图1托盘组件的主视示意图(图中还示了分承载区域);图3示出了图2的托盘组件的主视示意图(图中还示出了分定位基准件);图4示出了图3的托盘组件的主视示意图(图中还示出了第一避让通槽和第二避让通槽);图5示出了图4的托盘组件的主视示意图(图中还示出了按压组件);图6示出了图5的托盘组件的主视示意图(图中示出了硅块、切割纬线和切割经线);图7示出了图5的托盘组件的左视示意图;图8示出了本技术的托盘组件的定位基座的侧视示意图;图9不出了图8的定位基座的王视不意图;以及图10示出了图5的托盘组件的左视示意图(图中还示出了定位基座)。其中,上述图中的附图标记如下:1、硅块;2、切割经线;3、切割纬线;10、晶托;11、硅块承载面;12、第一避让通槽;13、承载区域;13a、第一端;13b、第二端;14、间隙区域;15、分承载区域;16、第二避让通槽;17、止挡件;18、第二定位面;20、第一定位基准件;21、分定位基准件;22、第一避让间隙;31、按压件;32、垫块;33、导向杆;34、螺母;35、凸耳;40、定位基座;41、第一定位面;42、定位凸起。【具体实施方式】需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。如图1所示,本实施例的用于开方机的托盘组件包括晶托10和第一定位基准件20。晶托10具有硅块承载面11,第一定位基准件20设置在硅块承载面11上。应用本实施例的用于开方机的托盘组件,将经过开方处理后的小块立方体的硅块放置在硅块承载面11,由于该硅块的体积相对于开方处理之前体积小了很多,为了将该硅块放置在对应切割线的位置,因此,将该硅块外周面的一侧贴靠在第一定位基准件20的一侦牝这样,很方便快捷地实现了将该硅块放置在对应切割线的位置。第一定位基准件20起到了确定位置的作用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于开方机的托盘组件,包括:晶托(10),具有硅块承载面(11),其特征在于,所述托盘组件还包括:第一定位基准件(20),设置在所述硅块承载面(11)上。

【技术特征摘要】
1.一种用于开方机的托盘组件,包括: 晶托(10),具有硅块承载面(11 ),其特征在于,所述托盘组件还包括: 第一定位基准件(20 ),设置在所述硅块承载面(11)上。2.根据权利要求1所述的托盘组件,其特征在于,所述硅块承载面(11)具有至少三个彼此独立的承载区域(13),相邻两个所述承载区域(13)之间形成间隙区域(14),所述第一定位基准件(20)为多个,任一所述第一定位基准件(20)设置在任一相应的所述间隙区域(14)内,并作为所述相邻两个所述承载区域(13)的共用定位基准件。3.根据权利要求2所述的托盘组件,其特征在于,所述至少三个承载区域(13)均沿第一方向延伸并且彼此平行设置,所述多个第一定位基准件(20)均沿所述第一方向延伸并且彼此平行设置。4.根据权利要求3所述的托盘组件,其特征在于,各所述承载区域(13)均包括多个彼此独立的分承载区域(15),各所述承载区域(13)中的所述多个分承载区域(15)均沿所述第一方向延伸并且沿所述第一方向间隔设置。5.根据权利要求1所述的托盘组件,其特征在于,还包括: 按压组件,包括按压件(31 ),所述按压件(31)在垂直于所述硅块承载面(11)的方向上可移动地设置在所述硅块承载面(11)的上方。6.根据权利要求5所述的托盘组件,其特征在于,所述按压组件还包括: 垫块(32),设置在所述按压件(31)上,所述垫块(32)位于所述按压件(31)与所述硅块承载面(11)之间。7.根据权利要求5所述的托盘组件,其特征在于,所述按压组件还包括: 导向杆(33 ),第一端设置在所述硅块承载面(11)或所述第一定位基准件(20 )上,所述导向杆(33)的第二端具有第一外螺纹,所述按压件(31)具有避让所述导向杆(33)的避让通孔; 螺母(34),具有与所述第一外螺纹配合的第一螺纹孔以及止挡所述按压件(31)的端壁。8.根据权利要求7所述的托盘组件,其特征在于,所述螺母上设置有两个凸耳(35),所述两个凸耳(35)相对于所述第一螺纹孔的轴线对称设置。9.根据权利要求4所述的托盘组件,其特征在于,还...

【专利技术属性】
技术研发人员:田欢崔嘉轩
申请(专利权)人:保定天威英利新能源有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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