一种炉管设备的组批派工系统和方法技术方案

本发明专利技术涉及半导体制造技术领域，公开了一种炉管设备的组批派工系统，包括设置装置，采集装置，分配装置，计算装置以及排序装置。本发明专利技术还公开了一种炉管设备的组批派工方法。本发明专利技术具有如下优点或者有益效果：采用本发明专利技术的方法和系统，通过计算等待作业的所有组批制品的组批分数，并对组批分数进行排序，由排序结果决定炉管设备的派工；避免了操作人员在制品列表中寻找、判断制品时带来的疏失，兼顾生产效率和不同优先级等级制品的成产周期，无需大量的循环运算和逻辑判断，提高了炉管设备的生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种炉管设备的组批派工系统和方法
本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种炉管设备的组批派工系统和方法。
技术介绍
在半导体生产制造过程中，对炉管设备的组批派工一直是个难题。由于炉管设备作业时间长，可多批次制品（lot）同时作业，所以使得操作者在作业时难以兼顾效率和优先级。若按照业界的自动派货规则，这需要大量的循环运算和逻辑判断。中国专利（公开号：CN101996359A）公开了一种半导体制造过程的派工方法，包括：判断在制品中是否包括最大允许等待时间小于设定值的在制品；若该在制品中包括最大允许等待时间小于设定值的在制品，且制造系统正在运行次要产品或所述在制品中包括触发产品，则首先派工最大允许等待时间小于设定值的在制品，之后派工最大允许等待时间不小于设定值的次要产品，最后派工最大允许等待时间不小于设定值的主要产品。该专利技术根据设备的运行状况、在制品的最大允许等待时间、等待时间、优先级、片数以及过货时间等因素灵活地实现派工控制，既保证了在制品的品质，又充分利用了光刻设备的产能。中国专利（公开号：CN1763666）公开了一种自动派工方法及系统以及以此方法制造的集成电路产品，具体涉本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种炉管设备的组批派工方法，其特征在于，采用如下步骤：步骤S1，设置权重分配规则；步骤S2，采集等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量信息和作业信息；步骤S3，根据所述权重分配规则和所述作业信息分配所述等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品权重；步骤S4，根据所述作业信息计算程序系数，然后根据所述制品数量信息、所述制品权重和所述程序系数计算所述等待作业的所有组批制品的组批分数；步骤S5，对所述等待作业的所有组批制品按照所述组批分数从高到低进行组批排序，根据所述组批排序进行组批派工。

【技术特征摘要】
1.一种炉管设备的组批派工方法，其特征在于，采用如下步骤：步骤S1，设置权重分配规则；步骤S2，采集等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量信息和作业信息；步骤S3，根据所述权重分配规则和所述作业信息分配所述等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品权重；步骤S4，根据所述作业信息计算程序系数，然后根据所述制品数量信息、所述制品权重和所述程序系数计算所述等待作业的所有组批制品的组批分数；步骤S5，对所述等待作业的所有组批制品按照所述组批分数从高到低进行组批排序，根据所述组批排序进行组批派工；在所述步骤S1中，所述权重分配规则为根据组批制品中每个批次制品处于炉管作业的步骤、优先级等级以及许容时间分配不同制品权重的规则；在所述步骤S4中，所述程序系数为通过所述作业信息中的所述等待作业的所有组批制品对应的炉管设备的不同程序作业时间分别除以炉管设备的所有程序平均作业时间得到的不同的数值；所述组批分数的计算方法为：组批分数＝(Σ等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量*步骤权重*等级权重*许容时间权重)/程序系数。2.根据权利要求1所述的炉管设备的组批派工方法，其特征在于，所述炉管作业的步骤为将组批制品中每个批次的制品到炉管作业的过程分为十个步骤，其中，第十个步骤为当前炉管作业步骤，设置第十个步骤的步骤权重为100％，从第十个步骤到第一个步骤的步骤权重依次递减10％。3.根据权利要求1所述的炉管设备的组批派工方法，其特征在于，在所述步骤S2中，所述作业信息包括所述等待作业的所有组批制品对应的炉管设备的不同程序作业时间，以及所述等待作业的所有组批制品中的每个批次制品处于炉管作业的步骤、优先级等级和许容时间；在所述步骤S3中，所述制品权重包括根据所述权重分配规则和所述作业信息分配的步骤权重、等级权重和许容时间权重。4.一...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯亮，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：