温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种炉管设备的组批派工系统，包括设置装置，采集装置，分配装置，计算装置以及排序装置。本发明还公开了一种炉管设备的组批派工方法。本发明具有如下优点或者有益效果：采用本发明的方法和系统，通过计算等待作业的所有...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。