【技术实现步骤摘要】
基于介电泳效应的定偏心式研磨/抛光设备
本技术涉及研磨/抛光领域，尤其是一种定偏心研磨/抛光设备。
技术介绍
随着产品性能的不断提高，现代光电信息领域、精密机械领域对材料的加工精度和表面质量要求愈来愈高。材料加工是原始材料到元器件转变的必经途径,加工的精度决定了元器件的性能，加工的效率决定了材料的推广应用进程。平面抛光技术广泛地应用于光学零件、半导体基片及各类高精度、高表面质量平面元器件的最终加工。抛光过程中，一般通过抛光盘旋转形成与工件之间的相对速度，借助注入抛光区域的抛光液及其中的磨粒，实现工件材料去除。由于抛光盘旋转，抛光液受到离心力作用，总是具有离开抛光盘的趋势，抛光盘转速越快，抛光液驻留加工区域的时间就越短。这势必导致只有少部分抛光液进入实际抛光区域参与材料去除，而大部分抛光液被甩出抛光盘，不能充分发挥作用。特别是在很多光、电子、信息元器件的抛光加工中，为了保证表面质量，抛光液不循环使用，抛光液的无效损耗大大增加了生产成本。同时，离心力使抛光液越靠近抛光垫周缘分布越厚并沿抛光垫径向位置呈现不均匀分布，工件中心部分与周缘部分之间呈现较大的抛光率差，...
【技术保护点】
一种基于介电泳效应的定偏心式研磨/抛光设备，包括机架、安装在机架上的抛光盘、工件夹具和抛光液输入器，所述工件夹具置于所述的抛光盘上方，待抛光的工件装夹在所述的工件夹具的底面，所述抛光盘安装在驱动主轴上，所述驱动主轴与驱动电机连接，其特征在于：所述的抛光盘上安装第一电极板，所述第一电极板与交流电源的第一引出端连接，所述工件夹具上安装第二电极板，所述第二电极板与所述交流电源的第二引出端连接；所述的交流电源的电流输入端与用于控制所述的交流电源的电压与频率的调频调压控制器连接。
【技术特征摘要】
1.一种基于介电泳效应的定偏心式研磨/抛光设备，包括机架、安装在机架上的抛光盘、工件夹具和抛光液输入器，所述工件夹具置于所述的抛光盘上方，待抛光的工件装夹在所述的工件夹具的底面，所述抛光盘安装在驱动主轴上，所述驱动主轴与驱动电机连接，其特征在于:所述的抛光盘上安装第一电极板，所述第一电极板与交流电源的第一引出端连接，所述工件夹具上安装第二电极板，所述第二电极板与所述交流电源的第二引出端连接；所述的交流电源的电流输入端与用于控制所述的交流电源的电压与频率的调频调压控制器连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓乾发，毛美姣，吕冰海，赵天晨，袁巨龙，郭伟刚，郁炜，厉淦，周芬芬，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：实用新型
国别省市：
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