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一种基于介电泳效应的定偏心式研磨/抛光设备，包括机架、安装在机架上的抛光盘、工件夹具和抛光液输入器。所述工件夹具置于所述的抛光盘上方，待抛光的工件装夹在所述的工件夹具的底面，所述抛光盘安装在驱动主轴上，所述驱动主轴与驱动电机连接，所述的抛光...
该专利属于浙江工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江工业大学授权不得商用。

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