【技术实现步骤摘要】
圆筒旋转银靶
本技术涉及一种圆筒旋转银靶，尤其是涉及一种应用于大面积磁控溅射镀膜的圆筒旋转银靶。
技术介绍
随着国家节能减排政策的执行力度加大以及人们对低碳环保意识的加强，以低辐射玻璃为代表的节能玻璃在门窗、玻璃幕墙中的应用越来越广泛。低辐射玻璃家族中，节能性能优异的双银低辐射玻璃得到大量应用。目前平面靶存在溅射效率低，换靶频繁，生产成本高等缺点，而旋转靶材具有利用率高、使用时间长、溅射过程中产生较少的电弧等优点，因而日益受到人们的关注。银层作为低辐射玻璃的主要功能层，在金属银靶的使用上，仍然是以平面银靶为主，且在工业化应用中存在银靶利用率低等问题。
技术实现思路
鉴于上述状况，有必要提供一种可提高利用率的圆筒旋转银靶及其制备方法。一种圆筒旋转银靶，包括圆筒不锈钢衬管及圆筒含银靶材，该圆筒含银靶材的内径与该圆筒不锈钢衬管外径之间采用过盈配合组装。该圆筒含银靶材为纯银靶材或银合金靶材，其中银合金中银的含量占总重量的比重为90%?100%。该圆筒含银祀材由多节组成，每节长为200mm?300mm,内径为132.5mm;其中一节与另外一节的连接部的外径为152?160m...
【技术保护点】
一种圆筒旋转银靶，其特征在于：包括圆筒不锈钢衬管及圆筒含银靶材，该圆筒含银靶材的内径与该圆筒不锈钢衬管外径之间采用过盈配合组装。
【技术特征摘要】
1.一种圆筒旋转银靶，其特征在于:包括圆筒不锈钢衬管及圆筒含银靶材，该圆筒含银靶材的内径与该圆筒不锈钢衬管外径之间采用过盈配合组装。2.如权利要求1所述的圆筒旋转银靶，其特征在于:该圆筒含银靶材由多节组成，每节长为200mnT300mm，内径为132.5mm ;其中一节与另外一节的连接部的外径为152~160mm ;并且其中一节与另外一节间距小于或等于0.5mm。3.如权利要求1所述的圆筒旋转银靶，其特征在于:该圆筒含银靶材的外表面均匀光滑，内壁面均匀光滑。4.如权利要求1所述的圆筒旋转银靶，其特征在于:该圆筒含银靶材具有内螺纹，该内螺纹宽度为2mm。5.如权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾小绵，白振中，王小峰，叶光岱，
申请(专利权)人：中国南玻集团股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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