铝及其合金的表面导电氧化处理工艺制造技术

一种铝及其合金的表面导电氧化处理工艺，其加工步骤如下：a.材料的选择;采用铝及其合金；b.材料表面去除杂质及油脂;c.对选定的材料进行碱腐蚀;d.中和并水洗；e.导电氧化；F.弱酸性水处理。本发明专利技术高锰酸钾作为强氧化剂,能加速铝及其合金的腐蚀,所制备的锰酸盐转化膜膜层均匀、致密,主要成分为Al,O,Mn元素,由铝和锰的氧化物组成,主要反应为：高锰酸钾+铝===锰酸钾+氧化铝+二氧化锰，所生成的转化膜在厚度及致密性上远远超过自然状态生成的氧化膜，外观无色透明,与铝基体结合牢固,且具有良好的导电性。

【技术实现步骤摘要】
铝及其合金的表面导电氧化处理工艺
本专利技术涉及到半导体设备零件的材料处理工艺，尤其是对铝及其合金的表面导电氧化处理工艺。
技术介绍
在半导体制造设备中，铝及其合金零件应用广泛。而这些设备中的铝合金零件表面，除去阳极氧化面以及特殊的功能性涂层面外，还有一部分区域是裸铝.。而半导体制造过程中的环境复杂，裸铝面虽然在大气环境中会自然生成一层极薄(大约在0.01 ~0.1Oum)而透明的氧化保护膜(由三层结构组成:最外层是含有水分的多孔质疏松层，是硬质结晶的一水软铝石(Al2O3H2O),所以有细微的裂隙；中间层是致密的活性阻挡层〔不定形的氧化铝(Al2O3));最内层是基体金属铝，但是这层天然氧化膜为非晶态，薄而多孔，在半导体制造环境中远远无法满足设计时对零件表面防护性及表面外观装饰的要求。在这种要求下，我们使用新的导电氧化工艺，在铝及其合金表面生成一层较薄的化学转化膜，大大增强了铝表面的抗腐蚀性能，外观无色透明，与铝基体结合牢固，且具有良好的导电性。
技术实现思路
本专利技术的目的就是要提供一种铝及其合金的表面导电氧化处理工艺，它能克服现有技术存在的以上 缺陷。本专利技术的目的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种铝及其合金的表面导电氧化处理工艺，其特征在于：加工步骤如下：a.材料的选择;采用铝及其合金；b.材料表面去除杂质及油脂;c.对选定的材料进行碱腐蚀;d.中和并水洗；e.导电氧化；F.弱酸性水处理。

【技术特征摘要】
1.一种铝及其合金的表面导电氧化处理工艺，其特征在于:加工步骤如下: a.材料的选择；采用铝及其合金； b.材料表面去除杂质及油脂； c.对选定的材料进行碱腐蚀； d.中和并水洗； e.导电氧化； F.弱酸性水处理。2.根据权利要求1所述的一种铝及其合金的表面导电氧化处理工艺，其特征在于:所述的步骤b.材料表面去杂质及油脂为:1).铝及其合金零件用15~20g/L碱性溶液碳酸钠Na2CO3及乳化剂，加热至60°(T80°C去油脂清洗；2).使用320目砂纸乱纹抛光，直至表面无机加工纹理和任何划线；3).先使用3M 7447工业百洁布水磨，然后再使用3M 7448工业百洁布水磨，表面需水磨均匀。3.根据权利要求1所述的一种铝及其合金的表面导电氧化处理工艺，其特征在于:所述的步骤c.对选定材料进 行碱腐蚀；是指铝及其合金零件放入装有浓度为40-50g/L的NaOH溶液的槽内浸蚀0.5~3分钟，此过程中控制槽内温度控制在55°C -65°...

【专利技术属性】
技术研发人员：游利，
申请(专利权)人：靖江先锋半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：