在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置制造方法及图纸

一种在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，包括电驱动件、纠偏执行机构和控制系统，纠偏执行机构设置于真空环境中，电驱动件和控制系统设置于常压环境中，纠偏执行机构包括导向轮机构、纠偏传感器和连接杆，电驱动件和导向轮机构通过连接杆连接，电驱动件与纠偏传感器均与控制系统电连接，纠偏传感器检测卷性材料的偏移方向并输出相应的偏移信号，控制系统接收纠偏传感器输出的偏移信号而控制电驱动件驱动连接杆的运动，通过连接杆的运动而调整导向轮机构的方向，从而达到卷性材料张力调整等纠偏的目的；同时避免电驱动件受到真空等离子的腐蚀作用，也解决了电驱动件设置于真空环境中散热不好的问题，提高了纠偏装置的使用寿命。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置
本技术涉及等离子处理设备
，特别是涉及一种在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置。
技术介绍
等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面活化和改性等场合。通过等离子处理设备的处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆和镀等操作，增强粘合力与键合力，同时可以去除油污、油脂和有机污染物。卷性等离子处理设备是用来处理柔性卷是电路板和卷性电子材料，如电路板覆盖膜等。一般的卷性等离子处理设备有两种，一种是没有调整张力的纠偏装置，从而导致收料齐整度不够，使产品的质量受到影响；另一种是有调整张力的纠偏装置，然而由于卷性等离子处理设备是在真空等离子环境中工作，纠偏装置会受到等离子的腐蚀作用，从而降低纠偏装置的使用寿命。
技术实现思路
基于此，有必要针对等离子造成对纠偏装置腐蚀而影响其使用寿命的问题，提供一种解决上述问题的在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置。一种在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，包括电驱动件、纠偏执行机构和控制系统，所述纠偏执行机构设置于隔离框架形成的真空环境中，所述电驱动件和所述控制系统设置于常压环境中 ，所述纠偏执行机构包括导向轮机构、纠偏传感器和连接杆，所述电驱动件和所述导向轮机构通过所述连接杆连接，所述电驱动件与所述纠偏传感器均与所述控制系统电连接，所述纠偏传感器检测卷性材料的偏移方向并输出相应的偏移信号，所述控制系统接收所述纠偏传感器输出的偏移信号而控制所述电驱动件调整所述导向轮机构的方向，以使所述纠偏执行机构调整卷性材料的位置。在其中一个实施例中，所述导向轮机构包括:导正棍；固定板,安装有第一固定座和第二固定座和第一固定杆和第二固定杆，所述第一固定杆和所述第二固定杆分别固定安装于所述第一固定座和所述第二固定座；轴承，所述轴承包括第一直线轴承、第二直线轴承、第一万向轴承、第二万向轴承和第三万向轴承，所述第一直线轴承和第二直线轴承固定于所述固定板，所述连接杆滑设于所述第一直线轴承和所述第二直线轴承内，所述第一万向轴承固定套设于所述连接杆并设置于所述第一直线轴承和所述第二直线轴承之间，且所述第一万向轴承与所述导正棍固定连接，所述第二万向轴承和所述第三万向轴承均固定安装于所述导正棍，所述第一固定杆和所述第二固定杆分别滑设于所述第二万向轴承和所述第三万向轴承内，且所述第一万向轴承、所述第二万向轴承和所述第三万向轴承呈三角形形状设置。在其中一个实施例中，所述导正棍包括底板、两侧板和两导向轴,所述两侧板固定安装于所述底板两侧；所述两导向轴均安装于所述两侧板，且分别安装于所述两侧板的两端；所述三个万向轴承均固定安装于所述底板一侧。在其中一个实施例中，所述第一万向轴承、所述第二万向轴承和所述第三万向轴承呈正三角形形状设置，且所述第一万向轴承、所述第二万向轴承和所述第三万向轴承构成的正三角形位于所述底板的中心。在其中一个实施例中，所述导向轮机构不工作时，所述第一万向轴承位于所述第一直线轴承和所述第二直线轴承中间。在其中一个实施例中，所述电驱动件包括电机和驱动缸，所述驱动缸安装于所述电机，所述驱动缸与所述连接杆通过密封法兰密封连接。在其中一个实施例中，所述驱动缸为直线式驱动缸或者旋转式驱动缸。在其中一个实施例中，还包括安装架，所述纠偏传感器通过所述安装架安装于所述导向轮机构。上述在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，卷性材料经过真空等离子的处理后经过导向轮机构，当卷性材料各处的张力发生变化产生偏移或者卷性材料两端位置偏移时，通过纠偏传感器采集卷性材料的偏移方向并输出相应的偏移信号，控制系统接收纠偏传感器输出的偏移信号而控制电驱动件驱动连接杆的运动，通过连接杆的运动而调整导向轮机构的方向，从而达到卷性材料张力调整等纠偏的目的；同时由于电驱动件与控制系统设置于常压环境中，避免设置于真空等离子环境中而受到等离子的腐蚀作用，也解决了电驱动件设置于真空环境中散热不好的问题，提高了纠偏装置的使用寿命。【附图说明】图1为在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置结构示意图；图2为在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置另一视角结构示意图；图3为在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置工作状态结构示意图；图4为图2中C的放大示意图；图5为导正棍的结构示意图；图6为在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置另一视角结构示意图；图7为在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置另一视角结构示意图；图8为在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置另一工作状态结构示意图；图9为纠偏传感器安装于安装架的结构示意图；图10为在真空等离子环境中调整张力的纠偏方法流程图。【具体实施方式】请参阅图1至图3，一种在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置100，包括电驱动件110、纠偏执行机构和控制系统160，所述纠偏执行机构设置于真空环境中，所述电驱动件110和所述控制系统160设置于常压环境中。纠偏执行机构通过隔离框架500与常压环境隔离，而设置于真空腔室200中。纠偏执行机构安装于位于真空腔室中隔离框架500的一端，电驱动件110安装于位于常压环境中隔离框架500的另一端。所述纠偏执行机构包括导向轮机构120、纠偏传感器140和连接杆130，所述电驱动件110和所述导向轮机构120通过所述连接杆130连接，所述电驱动件110与所述纠偏传感器140均与所述控制系统160电连接，所述纠偏传感器140检测卷性材料400的偏移方向并输出相应的偏移信号，所述控制系统160接收所述纠偏传感器140输出的偏移信号而控制所述电驱动件110调整所述导向轮机构120的方向，以使所述纠偏执行机构调整卷性材料400的位置。请参阅图1、图2和图4，具体地，所述电驱动件110包括电机和驱动缸112，所述驱动缸112安装于所述电机，所述驱动缸112与所述连接杆130通过密封法兰170密封连接。驱动缸112通过安装板180安装于位于常压环境中隔离框架500的一端，并通过密封法兰170与连接杆130密封连接，而进一步将真空环境与常压环境隔离开，防止常压环境中的气体流向真空环境中，进一步维持真空腔室的真空环境，以便于真空等离子对卷性材料的处理。本实施例中的密封法兰170设置于连接杆130位于真空环境的一端，从而更便于将驱动缸112与连接杆130安装于隔离框架500。可以理解，在其它实施例中，密封法兰170也可以设置于连接杆130位于常压环境的一端。所述驱动缸112可以为直线式驱动缸或者旋转式驱动缸。请参阅图3和图5，本实施例中，所述导向轮机构120包括导正棍、固定板123和轴承。所述导正棍包括底板1211、两侧板1212和两导向轴1213，所述两侧板1212固定安装于所述底板1211两侧；所述两导向轴1213均安装于所述两侧板1212，且分别安装于所述两侧板1212的两端。两导向轴1213包括第一导向轴1213A和第二导向轴1213B。卷性材料400从入料轴310输出，经过真空等离子处理后，先后从第一导向轴1213A和第二导向轴1213B经过，然后输入至出料轴320。本实施例中，卷性材料400从入料轴310至第一导向轴1213A以及卷性材料400从第二导向轴1213B至出料轴320的距离比较短本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，其特征在于，包括电驱动件、纠偏执行机构和控制系统，所述纠偏执行机构设置于隔离框架形成的真空环境中，所述电驱动件和所述控制系统设置于常压环境中，所述纠偏执行机构包括导向轮机构、纠偏传感器和连接杆，所述电驱动件和所述导向轮机构通过所述连接杆连接，所述电驱动件与所述纠偏传感器均与所述控制系统电连接，所述纠偏传感器检测卷性材料的偏移方向并输出相应的偏移信号，所述控制系统接收所述纠偏传感器输出的偏移信号而控制所述电驱动件调整所述导向轮机构的方向，以使所述纠偏执行机构调整卷性材料的位置。

【技术特征摘要】
1.一种在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，其特征在于，包括电驱动件、纠偏执行机构和控制系统，所述纠偏执行机构设置于隔离框架形成的真空环境中，所述电驱动件和所述控制系统设置于常压环境中，所述纠偏执行机构包括导向轮机构、纠偏传感器和连接杆，所述电驱动件和所述导向轮机构通过所述连接杆连接，所述电驱动件与所述纠偏传感器均与所述控制系统电连接，所述纠偏传感器检测卷性材料的偏移方向并输出相应的偏移信号，所述控制系统接收所述纠偏传感器输出的偏移信号而控制所述电驱动件调整所述导向轮机构的方向，以使所述纠偏执行机构调整卷性材料的位置。2.根据权利要求1所述的在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，其特征在于，所述导向轮机构包括: 导正棍； 固定板，安装有第一固定座、第二固定座、第一固定杆和第二固定杆，所述第一固定杆和所述第二固定杆分别固定安装于所述第一固定座和所述第二固定座； 轴承，所述轴承包括第一直线轴承、第二直线轴承、第一万向轴承、第二万向轴承和第三万向轴承，所述第一直线轴承和所述第二直线轴承均固定于所述固定板，所述连接杆滑设于所述第一直线轴承和所述第二直线轴承内，所述第一万向轴承固定套设于所述连接杆并设置于所述第一直线轴承和所述第二直线轴承之间，且所述第一万向轴承与所述导正棍固定连接，所述第二万向轴承和所述第三万向轴承均固定安装于所述导正棍，所述第一固定杆和所述第二固定杆分别滑设于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵公魄，赵芝强，梁冠雄，丁雪苗，刘玉平，
申请(专利权)人：珠海宝丰堂电子科技有限公司，
类型：实用新型
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