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一种在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置,包括电驱动件、纠偏执行机构和控制系统,纠偏执行机构设置于真空环境中,电驱动件和控制系统设置于常压环境中,纠偏执行机构包括导向轮机构、纠偏传感器和连接杆,电驱动件和导向轮机构通过连接杆连接,电驱动件与...该专利属于珠海宝丰堂电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海宝丰堂电子科技有限公司授权不得商用。
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一种在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置,包括电驱动件、纠偏执行机构和控制系统,纠偏执行机构设置于真空环境中,电驱动件和控制系统设置于常压环境中,纠偏执行机构包括导向轮机构、纠偏传感器和连接杆,电驱动件和导向轮机构通过连接杆连接,电驱动件与...