【技术实现步骤摘要】
一种制备六氟化硫气体的新型反应器装置
本技术属于一种氟气与硫磺气液两相同时反应生成六氟化硫的反应装置，具体涉及一种制备六氟化硫气体的装置。
技术介绍
六氟化硫广泛用于半导体、高压开关、断路器和电子设备中的绝缘介质以及微电子蚀刻气体。六氟化硫的制备方法有很多种，但是用于工业生产的基本上只有单质氟与单质硫反应的方法。现有技术制备六氟化硫的反应装置也有多种，目前大多数厂家都采用典型的钟罩式的反应装置。如图1所示，现有技术制备六氟化硫的反应装置包括熔硫器3，在熔硫器3的内部设置有液体挡板5和气体挡板8，在熔硫器3的一端、液体挡板5的一侧设置有硫磺加入口4，在液体挡板5的另一侧设置有氟气进口 6，在熔硫器3的另一端设置有粗气六氟化硫出口9，在熔硫器的下部设置有电加热装置1，在熔硫器3的底部液相区设置有温度计10，在熔硫器3的上部设置有冷却水夹套7，在熔硫器3的底部与液体挡板5之间有一通道2。现有技术制备六氟化硫的反应过程是:固体硫磺(S)通过硫磺进口 4加入加料区A中，融化后的液体硫磺通过通道2进入反应区B，再通过蒸汽继续加热维持硫磺融化汽化，并通过温度计10进行控...
【技术保护点】
一种制备六氟化硫气体的装置，它包括熔硫器和反应器，其特征在于：所述的熔硫器上端设置有硫磺加料口，下端设置有液体硫磺出口管道，左侧中间位置处设有蒸汽进口，左侧下方位置处设有熔硫器温度计，所述的反应器与熔硫器通过液体硫磺出口管道相通，所述的反应器上端左侧位置处设有氟气进口，右侧位置处设有粗气六氟化硫出口，所述的反应器的上半部为气相反应区，下半部为液相汽化区，所述的反应器左侧中间位置处设有冷却水循环管，所述的冷却水循环管的上方设有冷却水进口，所述的反应器左侧下方位置处设有蒸汽加热管，所述的蒸汽加热管的上方设有液相区温度计，所述的反应器右侧上方位置处设有冷却水出口，右侧中间位置处设...
【技术特征摘要】
1.一种制备六氟化硫气体的装置，它包括熔硫器和反应器，其特征在于:所述的熔硫器上端设置有硫磺加料口，下端设置有液体硫磺出口管道，左侧中间位置处设有蒸汽进口，左侧下方位置处设有熔硫器温度计，所述的反应器与熔硫器通过液体硫磺出口管道相通，所述的反应器上端左侧位置处设有氟气进口，右侧位置处设有粗气六氟化硫出口，所述的反应器的上半部为气相反应区，下半部为液相汽化区，所述的反应器左侧中间位置处设有冷却水循环管，所述的冷却水循环管的上方设有冷却水进口，所述的反应器左侧下方位置处设有蒸汽加热管，所述的蒸汽加热管的上方设有液相区温度计，所述的反应器右侧上...
【专利技术属性】
技术研发人员：金向华，冉康德，陈琦峰，孙猛，王海，黄军聘，周挺，
申请(专利权)人：苏州金宏气体股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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