超声波元件以及超声波内窥镜制造技术

超声波元件（20）具备：硅衬底（11）；下部电极层（12），具有多个下部电极部（12A）和多个下部布线部（12B），与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子（52）连接；下部绝缘层（13）；上部绝缘层（15），形成有分别小于下部电极部（12A）的多个空腔（14）；上部电极层（16），具有隔着各个空腔（14）与各个下部电极部（12A）对置配置的、比下部电极部（12A）小而比空腔（14）大的多个上部电极部（16A）、和多个上部布线部（16B），与检测电容信号的接地电位的上部电极端子（51）连接；以及保护层（17）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】超声波元件以及超声波内窥镜
[0001 ] 本专利技术涉及静电电容型的超声波元件以及具备上述超声波元件的超声波内窥镜。
技术介绍
向体内照射超声波、并根据回波信号将体内的状态图像化而进行诊断的超声波诊断法正在普及。超声波诊断法所使用的超声波诊断装置之一为超声波内窥镜(以下、称为“US内窥镜”)。US内窥镜为，在向体内导入的插入部的前端硬性部配设有超声波振子。超声波振子具有的功能为，将电信号变换为超声波而向体内发送，并且对在体内反射的超声波进行接收而变换为电信号。此前，超声波振子主要使用含有环境负担较大的铅的陶瓷压电材料、例如PZT (锆钦酸铅)等。与此相对，Caronti等公开了一种使用MEMS (Micro Electro MechanicalSystems:微机电系统)技术来制造的、材料不含铅的静电电容型超声波振子(CapacitiveMicromachined Ultrasonic Transducer:电容式微加工超声传感器；以下称为“c-MUT”)。c-MUT为，将上部电极部与下部电极部隔着空洞部(空腔)对置配置的超声波单元(以下称为“US单元”)作为单位元件。并且本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声波元件，其特征在于，具备：基体；下部电极层，与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子连接，具有多个下部电极部以及将上述多个下部电极部连接的多个下部布线部；下部绝缘层；上部绝缘层，形成有分别小于下部电极部的多个空腔；上部电极层，与检测电容信号的接地电位的上部电极端子连接，具有隔着各个空腔分别与下部电极部对置配置的、比上述下部电极部小而比上述空腔大的多个上部电极部、和将上述多个上部电极部连接的多个上部布线部；以及保护层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.07.11 JP 2011-1532771.一种超声波元件，其特征在于，具备: 基体； 下部电极层，与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子连接，具有多个下部电极部以及将上述多个下部电极部连接的多个下部布线部； 下部绝缘层； 上部绝缘层，形成有分别小于下部电极部的多个空腔； 上部电极层，与检测电容信号的接地电位的上部电极端子连接，具有隔着各个空腔分别与下部电极部对置配置的、比上述下部电极部小而比上述空腔大的多个上部电极部、和将上述多个上部电极部连接的多个上部布线部；以及保护层。2.如权利要求1记载的超声波元件，其特征在于， 上述上部布线部与上述下部布线部被配设为不对置配置。3.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本一哉，唐木和久，长谷川守，若琳胜裕，
申请(专利权)人：奥林巴斯医疗株式会社，奥林巴斯株式会社，
类型：
国别省市：