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超声波元件（20）具备：硅衬底（11）；下部电极层（12），具有多个下部电极部（12A）和多个下部布线部（12B），与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子（52）连接；下部绝缘层（13）；上部绝缘层（15），形成有分别小于下部电极部（1...该专利属于奥林巴斯医疗株式会社;奥林巴斯株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过奥林巴斯医疗株式会社;奥林巴斯株式会社授权不得商用。
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