一种基于半径渐变型和交错型谐振腔的光子晶体传感器阵列制造技术

本发明专利技术涉及一种利用半径渐变型光子晶体与六个微腔构成的传感器阵列的实现方法，属于光子晶体传感器技术领域。本发明专利技术首次将半径渐变型的光子晶体结构应用于传感器阵列的设计中，极大的压缩了阵列结构的尺寸，为光子晶体传感器阵列的大规模集成提供了条件。本发明专利技术通过设计位于不同半径区域的微腔，使六个微腔的谐振频率不同，从而在输出端的透射谱中可获得不同频率的谐振峰。当光子晶体的空气孔被注入不同折射率的分析物时，六个微腔的谐振波长均发生偏移，通过检测谐振波长的偏移量实现光子晶体阵列传感。本发明专利技术中涉及的光子晶体传感器阵列具有可扩展性，并且可以同时检测多种分析物，为光子晶体传感器阵列的实现提供了新的方法。

【技术实现步骤摘要】
一种基于半径渐变型和交错型谐振腔的光子晶体传感器阵 列
本专利技术涉及一种利用半径渐变型光子晶体平板与六个微腔构成传感器阵列的实 现方法，属于光子晶体传感器
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技术介绍
自从80年代提出光子晶体概念，光子晶体具有的光子禁带和光局域特性使其在 滤波，调制，传感等方面有广泛的应用。同时由于光子晶体具有体积小，易集成的特点，因此 光子晶体传感阵列具有很强的研究价值。到目前为止，光子晶体传感器的研究主要集中在压力传感器(文献1，Yi Yang, Daquan Yang, Huiping Tian, and Yuefeng Ji, “Photonic crystal stress sensor with high sensitivity in double directions based on shoulder-coupled slant nanocavity, ” Sensors and Actuators A，193，pp.149-154.(2013))，生化传感器(文献 2, M.G.Scullion, A.Di Falco，and T.F.Krauss, “Sl本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于半径渐变型的交错微腔的光子晶体传感器阵列的结构。其中：该光子晶体传感器阵列是基于三维光子晶体的半径渐变型空气孔三角晶格结构。在具有不同半径的光子晶体波导两侧交错引入六个微腔实现级联，通过向微腔周围的空气孔中注入分析物实现传感。

【技术特征摘要】
1.一种基于半径渐变型的交错微腔的光子晶体传感器阵列的结构。其中:该光子晶体 传感器阵列是基于三维光子晶体的半径渐变型空气孔三角晶格结构。在具有不同半径的光 子晶体波导两侧交错引入六个微腔实现级联，通过向微腔周围的空气孔中注入分析物实现 传感。2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于利用半径渐变型光子晶体平板实...

【专利技术属性】
技术研发人员：田慧平，刘琦，周健，杨大全，杨伊，纪越峰，
申请(专利权)人：北京邮电大学，
类型：发明
国别省市：