【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种杜美丝微波加热氧化炉,所述微波氧化炉包括氧化炉外壳、氧化炉金属内胆腔、氧化陶瓷管和氧化微波发生器,氧化炉金属内胆腔设置于氧化炉外壳内,氧化陶瓷管穿接于氧化炉金属内胆腔内,氧化微波发生器对应氧化陶瓷管设置于氧化炉金属内胆腔内,裸丝穿过氧化陶瓷管。通过微波发生器对杜美丝材料进行快速加热氧化,确保无CuO、高纯度、纳米级Cu2O的快速生成,实现全程数字化控制,具有结构简单、性能可靠、操作方便,能源利用率高,使用成本低等优点,能有效确保杜美丝材料外层无CuO生成,在后续铂玻璃熔封时无色差、无气泡,质量性能高。【专利说明】一种杜美丝微波加热氧化炉
本专利技术涉及一种杜美丝制造系统,具体说是一种利用微波加热氧化、烧结使铁镍合金镀铜层杜美丝快速生成CU20层面的杜美丝微波加热氧化炉。
技术介绍
普通红色、黄色、无硼杜美丝,在生成Cu2O过程时都是在H2或液化石油气环境场合中采用普通工频电炉加热至800-1380°C度。这一慢加热的时间过程,极易影响成品杜美丝的气密性和保存条件以及表面色差。此后再经涂硼后烧结成保护Cu2O层面,对半导体器件 ...
【技术保护点】
一种杜美丝微波加热氧化炉,其特征在于:所述微波氧化炉包括氧化炉外壳、氧化炉金属内胆腔、氧化陶瓷管和氧化微波发生器,氧化炉金属内胆腔设置于氧化炉外壳内,氧化陶瓷管穿接于氧化炉金属内胆腔内,氧化微波发生器对应氧化陶瓷管设置于氧化炉金属内胆腔内,裸丝穿过氧化陶瓷管。
【技术特征摘要】
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