二维调整机构及二维调整方法技术

本发明专利技术公开了一种二维调整机构，用于调整被调整件在支撑件的表面上的位置，包括联结件、预紧加载单元以及调整驱动单元，所述预紧加载单元通过所述联结件将所述被调整件压在支撑件的表面上，所述调整驱动单元和所述预紧加载单元连接，用以提供驱动力。本发明专利技术还公开了一种采用如上所述的二维调整机构的二维调整方法。本发明专利技术提供的二维调整机构及二维调整方法，能够解决空间约束，在有限空间实现二维独立调整，同时，可以提高调整定位精度，降低调整完成后的锁紧误差，另外，调整完成后可以从被调整件上拆除该二维调整机构，不影响被调整件的长期稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
精密仪器在装调过程中，往往不能通过直接加工达到定位固定精度，而是需要通过各种调节方案来实现。在一个平面内调整即二维调整，往往通过互相垂直的两个方向来调整，同时需要两个方向调整的过程中解偶，以达到快速调整至所需要的位置的目的，在调整完成后，通过固定方式确定该元件在整个组件中的位置。现有的二维调整结构，如图4所示，通过互相垂直的两个导向杆，分解成两层结构，实现被调整件的二维联动调节，调整过程中以光杆作为导向杆，丝杆作为驱动件。另外，也有通过顶丝作为驱动件，弹簧作为回复力实现二维调整。以上方式调整对普通零部件调整定位可以实现，但涉及精密零部件，存在以下缺点:1.该结构受空间约束，在精密调整仪器中，无法在被调整件中实现这种结构。2.该调整方式存在定位精度不高和固定锁紧误差大。3.该结构调整完成后，无法从被调整件拆除，影响被调整件的长期稳定性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种二维调整机构，能够解决空间约束，在有限空间实现这种二维独立调整，同时，可以提高调整定位精度，降低调整完成后的锁紧误差，另外，调整完成后从被调整件上拆除该二维调整机构，不本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种二维调整机构，用于调整被调整件在支撑件的表面上的位置，其特征在于，包括联结件、预紧加载单元以及调整驱动单元，所述预紧加载单元通过所述联结件将所述被调整件压在支撑件的表面上，所述调整驱动单元和所述预紧加载单元连接，用以提供驱动力。

【技术特征摘要】
1.一种二维调整机构，用于调整被调整件在支撑件的表面上的位置，其特征在于，包括联结件、预紧加载单元以及调整驱动单元，所述预紧加载单元通过所述联结件将所述被调整件压在支撑件的表面上，所述调整驱动单元和所述预紧加载单元连接，用以提供驱动力。2.根据权利要求1所述的二维调整机构，其特征在于，所述预紧加载单元包括柔性件、杠杆机构、预紧螺钉、止动顶丝以及夹持板，所述柔性件的一端与所述联结件固定连接，所述柔性件的另一端与杠杆机构的输出端连接，所述杠杆机构安装于所述夹持板上，所述预紧螺钉设置于杠杆机构的输入端，所述止动顶丝设置于所述夹持板上，通过调整所述止动顶丝能够固定所述杠杆机构。3.根据权利要求2所述的二维调整机构，其特征在于，所述杠杆机构包括支撑块、轴销以及轴销螺母，所述支撑块通过轴销及轴销螺母安装于所述夹持板上，所述支撑块能够以所述轴销为旋转轴转动，所述柔性件的另一端与所述支撑块的一端连接，所述支撑块的另一端设置有与所述预紧螺钉匹配的螺钉孔，通过调整止动顶丝能够使得止动顶丝的一端挤压并固定所述支撑块。4.根据权利要求2所述的二维调整机构，其特征在于，所述柔性件采用单轴柔性铰链结构，柔性件的铰链轴方向平行于支撑件的表面。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：程海林，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，上海微高精密机械工程有限公司，
类型：发明
国别省市：