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本发明公开了一种二维调整机构，用于调整被调整件在支撑件的表面上的位置，包括联结件、预紧加载单元以及调整驱动单元，所述预紧加载单元通过所述联结件将所述被调整件压在支撑件的表面上，所述调整驱动单元和所述预紧加载单元连接，用以提供驱动力。本发明还...该专利属于上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司授权不得商用。