【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微机械系统中带有热驱动粘附消除机构的微悬臂梁结构,包括衬底(1)、锚区(2)、悬臂梁(3)、位于悬臂梁中部下方的下拉电极(4)、位于悬臂梁末端下方的衬底接触电极(5),所述悬臂梁的一端通过锚区(2)连接在衬底(1)上,所述下拉电极(4)和衬底接触电极(5)均固定连接在衬底(1)的顶面,其特征在于:还包括粘附消除机构(6)和与该粘附消除机构相连的锚区(61、62、63、64),所述粘附消除机构(6)由一根与悬臂梁末端垂直连接的直梁(67)、与该直梁两端垂直连接的横梁(65、66)、以及与所述横梁(65、66)两端分别垂直连接的纵向臂(651、652、661、662)构成,所述的粘附消除机构(6)通过纵向臂末端与对称分布在直梁两侧的锚区(61、62、63、64)相连而悬挂在衬底(1)上方。
【技术特征摘要】
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