【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于MEMS的叉指间隙梁结构能量收集器，其组成包括：顶层PZT复合膜梁，其特征是：所述的顶层PZT复合膜梁下方具有两个底层支撑硅梁，所述的顶层PZT复合膜梁和底层支撑硅梁的两端分别连接质量块和固定块；其中，所述的顶层PZT复合膜梁包括PZT梁层，以及与所述的PZT梁层的上下层分别连接的上金属电极和下金属电极。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邱成军，陈晓洁，曲伟，卜丹，林连冬，
申请(专利权)人：黑龙江大学，
类型：发明
国别省市：
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