The utility model provides a thermostatic water heater, the first pipeline can be connected to a flow of a fluid at ambient temperature, which comprises a first heat exchanger, which is provided with a plurality of first spoiler, and a first heat exchanger are respectively connected to the first pipe and a connecting pipe, fluid at ambient temperature through the first heat exchanger to form a first temperature the fluid, and enter the communicating pipe; a second heat exchanger, which is provided with a plurality of second and the spoiler, the second heat exchanger are respectively connected to the connecting pipe and a second line, the first through the second heat exchanger fluid temperature to form a second constant temperature fluid, and enter the second line; and a one-way pipe for second fluid temperature in the selective way again into the first heat exchanger; thereby, the fluid temperature output can present constant temperature effect is more stable.
【技术实现步骤摘要】
恒温式热水装置
本技术有关于一种热水装置,尤指一种恒温式热水装置,可使输出的流体达到更加稳定的恒温效果。
技术介绍
按,近十几年来,全球科技进步速度与日遽增,除不断提升科技产品的性能,更大力地改善产品的可携性及精密度,因此,伴随着积体电路的特征尺寸快速缩小,所需蚀刻率分布的均匀度亦随之紧缩,以致于晶圆上的温度变化则必须减至最低或消除,然而,若晶圆的温度差过大,便会使得晶圆表面的积体电路,因晶圆本身膨胀收缩的物理原理,导致积体电路的断裂,进而提高晶圆的报废率,其中,于半导体制程的条件中对于晶圆上的温度变化有着直接影响关系,便是清洗步骤中清洗剂的流体温度,因此,为满足此种迫切需求所构思的制程条件,则须开发出可减少温度误差的恒温设备。习知的恒温热水装置,其包括有:一热交换器,其内部设置一连续弯曲的加热管,并于热交换器的两侧设有一入水口及一出水口,而入水口可供一常温流体流入,加热管可供一热源,其中,常温流体经由接触加热管的外侧进行热量交换,并流出于出水管形成一恒温流体,藉由温度控制器调整固定常温流体与恒温流体的温度差。上述先前技术对于实用性及利用性上仍尚欠不足,并 ...
【技术保护点】
一种恒温式热水装置,其连接一流通一常温流体的第一管路,其特征在于包括有:一第一热交换器,其内部具有数个第一扰流板,而该第一热交换器分别连接于该第一管路及一连通管,使该常温流体自该第一管路流经该第一热交换器形成一第一恒温流体,并输入于该连通管;一第二热交换器,其内部具有数个第二扰流板,而该第二热交换器分别连接于该连通管及一第二管路,使该第一恒温流体自该连通管流经该第二热交换器形成一第二恒温流体,并输入于该第二管路;以及一单向管,其连接设置于该第一管路及该第二管路之间,供该第二恒温流体以选择性的方式经由该单向管再度流入该第一热交换器。
【技术特征摘要】
1.一种恒温式热水装置,其连接一流通一常温流体的第一管路,其特征在于包括有:一第一热交换器,其内部具有数个第一扰流板,而该第一热交换器分别连接于该第一管路及一连通管,使该常温流体自该第一管路流经该第一热交换器形成一第一恒温流体,并输入于该连通管;一第二热交换器,其内部具有数个第二扰流板,而该第二热交换器分别连接于该连通管及一第二管路,使该第一恒温流体自该连通管流经该第二热交换器形成一第二恒温流体,并输入于该第二管路;以及一单向管,其连接设置于该第一管路及该第二管路之间,供该第二恒温流体以选择性的方式经由该单向管再度流入该第一热交换器。2.如权利要求1所述的恒温式热水装置,其特征在于,该些第一扰流板以对向间隔的方式设置于该第一热交换器。3.如权利要求1所述的恒温式热水装置,其特征在于,该些第二扰流板以对向间隔的方式设置于该第二热交换器。...
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