压电促动器、压电振动装置及便携终端制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种接合于压电元件的柔性基板即使进行长期间驱动也不会从压电元件剥离而能长期间稳定地进行驱动的压电促动器、压电振动装置及便携终端。本发明专利技术的压电促动器(1)具有：压电元件(10)，其具备层叠内部电极(2)及压电体层(3)而成的层叠体(4)和在层叠体(4)的一方主面上与内部电极(2)电连接的表面电极(5)；柔性基板(6)，其一部分通过导电性接合部件(7)接合于一方主面，且具备与表面电极(5)电连接的配线导体(61)，一方主面的至少接合有柔性基板(6)的区域比另一方主面的平坦度差。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电促动器、压电振动装置及便携终端
本专利技术涉及适合于压电振动装置、便携终端的压电促动器、压电振动装置及便携终端。
技术介绍
作为压电促动器，已知有下述压电促动器:如图7所示，使用了在层叠多层内部电极101和压电体层102而成的层叠体103的表面上形成表面电极104而成的双压电晶片型的压电元件10的压电促动 器(参照专利文献I);在压电元件10的主面上利用导电性接合部件106接合柔性基板105，并使压电元件10的表面电极104与柔性基板105的配线导体107电连接的压电促动器(参照专利文献2)。而且，已知有将双压电晶片型的压电元件的长度方向上的中央部、一端固定于振动板的压电振动装置(参照专利文献3、4)。【在先技术文献】【专利文献】【专利文献I】日本特开2002-10393号公报【专利文献2】日本特开平6-14396号公报【专利文献3】国际公开第2005/004535号【专利文献4】日本特开2006-238072号公报
技术实现思路
【专利技术要解决的课题】然而，在以往的压电促动器中，由于在压电元件的平坦度良好的主面上接合柔性基板105，因此由于产生不追随由外部振动、柔性基板105自身的共振引起的促动器的振动的、异常的柔性基板105的振动，从而尤其是在接合部的根部作用有应力集中的负载，而产生柔性基板105从压电元件剥离这样的问题。本专利技术是鉴于上述的问题点而做成的，其目的在于提供一种接合于压电元件的柔性基板即使进行长期间驱动也不会从压电元件剥离、而能长期间稳定地进行驱动的压电促动器、压电振动装置及便携终端。【用于解决课题的手段】本专利技术的压电促动器的特征在于，具有:压电元件，其具备层叠内部电极及压电体层而成的层叠体和在该层叠体的一方主面上与所述内部电极电连接的表面电极；柔性基板，其一部分通过导电性接合部件接合于所述一方主面，且具备与所述表面电极电连接的配线导体，所述一方主面的至少接合有所述柔性基板的区域比另一方主面的平坦度差。另外，本专利技术的压电振动装置的特征在于，该压电振动装置具有所述压电促动器和接合于所述压电元件的所述另一方主面的振动板。另外，本专利技术的便携终端的特征在于，该便携终端具有所述压电促动器、电子电路、显示器和框体，所述压电促动器的所述另一方主面接合于所述显示器或所述框体。【专利技术效果】根据本专利技术，能够得到一种接合于压电元件的柔性基板即使进行长时间驱动也不会从压电元件剥离、而能长期间稳定地进行驱动的压电促动器。【附图说明】 图1的(a)是表示本专利技术的压电促动器的实施方式的一例的概略立体图，图1的(b)是利用(a)所示的A-A线剖切所得到的概略剖视图。图2的(a)是表示图1的(b)的另一例的概略剖视图，图2的(b)是表示图1的(b)的又一例的概略剖视图。图3是示意性地表示本专利技术的实施方式的压电振动装置的概略立体图。图4是示意性地表示本专利技术的实施方式的便携终端的概略立体图。图5是利用图4所示的A-A线剖切所得到的概略剖视图。图6是利用图4所示的B-B线剖切所得到的概略剖视图。图7的(a)是表示以往的压电促动器的实施方式的一例的概略立体图，图7的(b)是利用(a)所示的A-A线剖切所得到的概略剖视图。【具体实施方式】关于本专利技术的压电促动器的实施方式的一例，参照附图，进行详细说明。图1的(a)是表示本专利技术的压电促动器的实施方式的一例的概略立体图，图1的(b)是利用图1的(a)所示的A-A线剖切所得到的概略剖视图。图1所示的本实施方式的压电促动器I具有:压电元件10，其具备层叠内部电极2及压电体层3而成的层叠体4和在层叠体4的一方主面上与内部电极2电连接的表面电极5 ;柔性基板6，其一部分通过导电性接合部件7接合于一方主面，且具备与表面电极5电连接的配线导体61，一方主面的至少接合有柔性基板6的区域比另一方主面的平坦度差。构成压电元件10的层叠体4是层叠内部电极2及压电体层3而成的，具有多个内部电极2沿着层叠方向重叠的活性部41和除此以外的非活性部42，例如形成为长条状。在向便携终端的显示器或框体安装的压电促动器的情况下，作为层叠体4的长度，优选为例如18mm~28mm,更优选为22mm~25mm。层叠体4的宽度优选为例如Imm~6mm,更优选为3mm~4mm。层叠体4的厚度优选为例如0.2mm~1.0mm,更优选为0.4mm~0.8mm。构成层叠体4的内部电极2是通过与形成压电体层3的陶瓷同时烧成而形成的，由第一极21及第二极22构成。例如，第一极21为接地极，第二极22为正极或负极。通过与压电体层3交替层叠而从上下夹持压电体层3、并按照层叠顺序配置第一极21及第二极22，由此来向夹在第一极21与第二极22之间的压电体层3施加驱动电压。作为其形成材料，可以使用例如以与压电陶瓷的反应性低的银或银-钯合金为主成分的导体或者包含铜、钼等的导体，但也可以使它们含有陶瓷成分、玻璃成分。在图1所示的例子中，第一极21及第二极22的端部分别交替地向层叠体4的对置的一对侧面导出。在向便携终端的显示器或框体安装的压电促动器的情况下，内部电极2的长度优选为例如17mm~25mm,更优选为21mm~24mm。内部电极2的宽度优选为例如Imm?5mm,更优选为2mm?4mm。内部电极2的厚度优选为例如0.1?5 μ m。构成层叠体4的压电体层3由具有压电特性的陶瓷形成，作为这样的陶瓷，可以使用例如由锆钛酸铅(PbZrO3-PbTiO3)构成的钙钛矿型氧化物、铌酸锂(LiNbO3)、钽酸锂(LiTaO3)等。压电体层3的I层的厚度优选设定为例如0.01?0.1mm,以便于利用低电压来驱动。而且，为了得到大的弯曲振动，优选具有200pm/V以上的压电d31常数。在层叠体4的一方主面上设有与内部电极2电连接的表面电极5。图1所不的方式中的表面电极5由大面积的第一表面电极51、小面积的第二表面电极52及第三表面电极53构成。例如，第一表面电极51与作为第一极21的内部电极2电连接,第二表面电极52与配置于一方主面侧的作为第二极22的内部电极2电连接，第三表面电极53与配置于另一方主面侧的作为第二极22的内部电极2电连接。在向便携终端的显示器或框体安装的压电促动器的情况下，第一表面电极51的长度优选为例如17mm?23mm,更优选为19mm?21mm。第一表面电极51的宽度优选为例如Imm?5mm,更优选为2mm?4mm。第二表面电极52及第三表面电极53的长度优选为例如Imm?3mm。第二表面电极52及第三表面电极53的宽度优选为例如0.5mm?1.5mm。另外，压电促动器I具有柔性基板6，该柔性基板6的一部分通过导电性接合部件7接合于构成压电元件10的层叠体4的一方主面。该柔性基板6具备配线导体61，以通过导电性接合部件7将表面电极5与配线导体61电连接的方式将柔性基板6的一部分接合于层叠体4的一方主面。柔性基板6是例如在树脂膜中埋设有两根配线导体61的柔性印制配线基板，在一方端上连接有用于与外部电路连接的连接器(未图示)。作为导电性接合部件7，可以使用导电性粘结剂或焊料等，但优选为导电性粘结齐U。这是因为，通过使用例如在聚酰亚胺、聚酰胺-酰亚胺、硅橡胶、合成橡胶等的弹性模量(杨氏模量)低的树脂中分散由银粉末、金粉末等本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电促动器，其特征在于，该压电促动器具有：压电元件，其具备层叠内部电极及压电体层而成的层叠体和在该层叠体的一方主面上与所述内部电极电连接的表面电极；柔性基板，其一部分通过导电性接合部件接合于所述一方主面，且具备与所述表面电极电连接的配线导体，所述一方主面的至少接合有所述柔性基板的区域比另一方主面的平坦度差。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.05.12 JP 2012-1101321.一种压电促动器，其特征在于，该压电促动器具有: 压电元件，其具备层叠内部电极及压电体层而成的层叠体和在该层叠体的一方主面上与所述内部电极电连接的表面电极； 柔性基板，其一部分通过导电性接合部件接合于所述一方主面，且具备与所述表面电极电连接的配线导体， 所述一方主面的至少接合有所述柔性基板的区域比另一方主面的平坦度差。2.根据权利要求1所述的压电促动器，其特征在于， 所述内部电极包括第一极和第二极，在所述第一极及所述第二极沿着层叠方向重叠的厚度相对厚的活性部与该活性部以外的厚度相对薄的非活性部之间，在所述一方主面上设有台阶，所述柔性基板与所述一方主面的从所述活性部到所述非活性部接合。3.根据权利要求1所述的压电促动器，其特征在于， 所述压电元件为具有长度方向和宽度方向的长条状体，所述内部电极包括第一极和第二极，在所述内部电极的所述第一极及所述第二极沿着层叠方向重叠的厚度相对厚的所述宽度方向的中央区域与该中央区域以外的厚度相对薄的所述宽度方向的端部区...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村成信，
申请(专利权)人：京瓷株式会社，
类型：
国别省市：