【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了，它包括工作台、圆形工件、控制器、编码器、传感器a、传感器b和传感器c,所述工作台用来传送所述圆形工件，所述控制器接收所述编码器通过传感器采集到的编码信息，通过运算定位出所述圆形工件的圆心，定位圆心的检验，所述控制器根据圆心来控制和调节所述工作台取送所述圆形工件的方向和距离。本方法可以模拟出一个立体模型，快速准确地计算出圆形工件的圆心位置，以及传输目标点的方向和距离，并且不会影响整个传输系统的传输效率。【专利说明】—种工作台上精确定位圆心的方法
本专利技术涉及半导体器件制造控制定位系统，具体涉及ー种工作台上精确定位圆心的方法。
技术介绍
在半导体器件加工时，需要在晶体内引入參杂物，从而改变半导体的传导率，而在引入參杂物的过程中，圆形半导体エ件需要进行精准的定位，这样才能做到均匀准确的參杂，因此ー套行之有效的控制定位工作台就至关重要，如果要提高工作台传送圆形半导体エ件的稳定性和精准度，就要准确定位圆形エ件的圆心位置，进而计算出工作台上圆形エ件的偏移量，再通过调节工作台的方向和位置来抵消这些误差。为实现上述技术目的，达到上述技术效果...
【技术保护点】
一种工作台上精确定位圆心的方法，它包括工作台（1）、圆形工件（2）、控制器（3）、编码器（4）、传感器a（5）、传感器b（6）和传感器c（7），其特征在于，所述工作台（1）用来传送所述圆形工件（2），所述控制器（3）接收所述编码器（4）通过传感器采集到的编码信息，通过运算定位出所述圆形工件（2）的圆心，定位圆心的检验，所述控制器（3）根据圆心来控制和调节所述工作台（1）取送所述圆形工件（2）的方向和距离。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨大蓉，
申请(专利权)人：苏州经贸职业技术学院，
类型：发明
国别省市：
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