【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及一种，其中该设备包括用于装载基板的卡匣与用于搬运卡匣的搬运机，沿垂直于搬运机运动方向依次设置有用于处理卡匣的第一处理室和第二处理室；基板运输设备还包括设置在所述第一处理室和第二处理室之间，用于驱动所述卡匣从所述第一处理室移至所述第二处理室的第一输送带。实施本专利技术，搬运机只要将卡匣搬运到输入口之后即可完成在第一处理室和第二处理室的工艺流程，中间无需搬运机进行处理，从而减少了搬运机的搬运量，减少了基板生产周期时间，提供了产能。【专利说明】
本专利技术涉及基板技术，更具体地说，涉及一种。
技术介绍
在基板的过程中，例如TFT-1XD的基板，需要在不同的处理室中进行不同的工艺处理，如镀膜、曝光、刻蚀、去光阻等均需要在不同的处理室中进行处理。目前行业内对于基板在各个处理室之间的搬运采用的是如图1的方式。各个处理室沿平行于搬运机运动方向设置，待处理的基板使用卡匣200装好后,使用搬运机100 (crane)搬运到第一处理室300的第一入口 301，卡匣200将在第一处理室300进行处理，处理后的卡匣200从第一处理室300的第一出口 30...
【技术保护点】
一种基板运输设备，包括用于装载基板的卡匣（200）与用于搬运卡匣（200）的可移动的搬运机（100），其特征在于，所述基板运输设备还包括用于处理卡匣（200）的第一处理室（300）和第二处理室（400），所述第一处理室（300）和所述第二处理室（400）设置在所述搬运机（100）的移动方向的同一侧，所述第一处理室（300）与所述搬运机（100）的距离小于所述第二处理室（400）与所述搬运机（100）的距离；以及设置在所述第一处理室（300）和第二处理室（400）之间的，用于驱动所述卡匣（200）从所述第一处理室（300）移至所述第二处理室（400）的第一输送带（501）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈增宏，吴俊豪，林昆贤，汪永强，杨卫兵，齐明虎，李晨阳子，杨国坤，蒋运芍，舒志优，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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