【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种用于超大拼接平台的台面支撑装置，针对拼接平台的每块子平台均设置有6个可调支撑高度的支撑足，6个支撑足分为主动支撑足和辅助支撑足两组支撑，每组支撑中支撑足呈等边三角形布局，两个三角形以等腰线为对称线镜像设置组成正方形；主动支撑足保持并主动调整子平台的水平度，辅助支撑足辅助承托子平台的重量，主动支撑足和辅助支撑足均为闭环控制。本专利技术的闭环微调主动支撑足能快速的调整平台台面的水平，力感知辅助支撑足能够分担子平台的重力，同时能有效克服子平台台面自身重量和载重变化而产生的形变。该装置采用闭环控制自动化程度高，能够快速调整子平台台面的水平，从而保证拼接平台的水平精度要求。【专利说明】一种用于超大拼接平台的台面支撑装置
本专利技术涉及一种用于超大拼接平台的台面支撑装置，具体涉及子平台的支撑足结构。
技术介绍
现有技术中，轻载荷平台一般可以依据三点确定一个平面的公理，调整支撑面的三点获得一个基准面，该类型的平台无辅助支撑足，在地基沉降和较大载荷时容易产生形变偏差。对于有限载荷的平台，可以使用四点或五点调平的方式获得一个基准平面，该类型...
【技术保护点】
一种用于超大拼接平台的台面支撑装置，其特征在于，针对拼接平台的每块子平台均设置有6个可调支撑高度的支撑足，6个支撑足分为主动支撑足和辅助支撑足两组支撑，每组支撑中支撑足呈等边三角形布局，两个三角形以等腰线为对称线镜像设置组成正方形，两个三角形的中心重合且与子平台的重心在同一垂直线上；主动支撑足保持并主动调整子平台的水平度，辅助支撑足辅助承托子平台的重量，主动支撑足和辅助支撑足均为闭环控制，所述支撑子系统设置有与支撑足配合的独立控制单元；主动支撑足的支撑点位于子平台研磨时的支撑点上。
【技术特征摘要】
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