一种石墨基座制造技术

技术编号:9508389 阅读:54 留言:0更新日期:2013-12-26 22:57
本实用新型专利技术提出一种石墨基座,用于红黄光LED外延片外延生长的金属有机化合物化学气相沉淀反应室,其特征在于:石墨基座体上加工有多个口袋,所述口袋的底部边缘具有环形槽,所述环形槽的形状随口袋的形状变化而变化。本实用新型专利技术的技术方案通过在石墨基座的口袋底部边缘采用环形开槽,去除了外延片与石墨基座的接触,增加气体的进入,大大提高了衬底的温度均匀性,有效提高外延片的亮度均匀性,解决边缘效应从而提高产量。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种石墨基座,用于红黄光LED外延片外延生长的金属有机化合物化学气相沉淀反应室,其特征在于:石墨基座体上加工有多个口袋,所述口袋的底部边缘具有环形槽,所述环形槽的形状随口袋的形状变化而变化。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李西维詹国彬
申请(专利权)人:上海东洋炭素有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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