一种三凸梁式微机械加速度传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种三凸梁式微机械加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板；其中，敏感芯片采用结构对称的双端固支的双质量块，共包含两个锚区、三个敏感凸梁、两个质量块、四个压敏电阻。其连接关系是，所述的两个质量块通过一个敏感凸梁连在一起，另外两个敏感凸梁分别放置在质量块两端，构成敏感芯片的可动部分；四个压敏电阻分别设置在敏感凸梁上表面；可动部分的两端分别与锚区连在一起构成敏感芯片；所述的敏感芯片与下玻璃板通过键合连接。本实用新型专利技术的传感器的固有频率可达300KHz以上，且不使灵敏度下降，避开了常规设计中两者不可协调的矛盾。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种三凸梁式微机械加速度传感器，其特征在于：所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板（5）；其中，敏感芯片含有第一锚区（11）、第二锚区（12）、第一敏感凸梁（21）、第二敏感凸梁（22）、第三敏感凸梁（23）、第一质量块（31）、第二质量块（32）、第一压敏电阻（41）、第二压敏电阻（42）、第三压敏电阻（43）、第四压敏电阻（44），其连接关系是,所述的第二敏感凸梁（22）分别与第一质量块（31）、第二质量块（32）的一端连接，第一质量块（31）的另一端与第一敏感凸梁（21）连接，第二质量块（32）的另一端与第三敏感凸梁（23）连接，构成敏感芯片的可动部分；所述的第一压敏电阻（41）设置于第一敏感凸梁（21）上表面，第二压敏电阻（42）、第三压敏电阻（43）设置于第二敏感凸梁（22）上表面、第四压敏电阻（44）设置于第三敏感凸梁（23）上表面；可动部分的两端分别与第一锚区（11）、第二锚区（12）连接，构成敏感芯片；所述的敏感芯片与下玻璃板（5）通过键合连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙远程，苏伟，袁明权，张茜梅，王海青，武蕊，屈明山，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院电子工程研究所，
类型：实用新型
国别省市：