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多通道石英晶体微天平检测装置制造方法及图纸

技术编号:9488683 阅读:131 留言:0更新日期:2013-12-25 22:38
本发明专利技术公开了一种多通道石英晶体微天平检测装置,包括上针探头、下针探头、底座、石英晶片、硅胶垫片和封盖,底座上表面设有底座凹槽,底座凹槽内嵌有石英晶片,石英晶片下表面设有开口向下多个石英晶片凹槽,在石英晶片下表面镀有一层下电极,在每个石英晶片凹槽的背面对应位置引向边缘处镀有上电极,硅胶垫片设置在底座上,在硅胶垫片上与石英晶片凹槽对应位置开有上下贯通的中心长通孔,封盖位于硅胶垫片上;在封盖上分别开设进样通道和出样通道,上针探头穿过封盖和硅胶垫片与上电极连接,下针探头穿过底座与下电极连接。本发明专利技术可以同时检测出多种待测物中的不同成分,且提高了检测精度。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种多通道石英晶体微天平检测装置,包括上针探头、下针探头、底座、石英晶片、硅胶垫片和封盖,底座上表面设有底座凹槽,底座凹槽内嵌有石英晶片,石英晶片下表面设有开口向下多个石英晶片凹槽,在石英晶片下表面镀有一层下电极,在每个石英晶片凹槽的背面对应位置引向边缘处镀有上电极,硅胶垫片设置在底座上,在硅胶垫片上与石英晶片凹槽对应位置开有上下贯通的中心长通孔,封盖位于硅胶垫片上;在封盖上分别开设进样通道和出样通道,上针探头穿过封盖和硅胶垫片与上电极连接,下针探头穿过底座与下电极连接。本专利技术可以同时检测出多种待测物中的不同成分,且提高了检测精度。【专利说明】多通道石英晶体微天平检测装置
本专利技术涉及传感检测
,尤其涉及一种带参照的多通道石英晶体微天平检测装置。
技术介绍
石英晶体微天平(QuartzCrystalMicrobalance,QCM)是一种基于晶片表面附着质量变化导致谐振频率的变化而检测微量物质的传感器,具有灵敏度高、结构简单、成本低,特别是不需要样品标记等优点,在生物、化学等领域作为检测、分析的工具得到了广泛的应用。石英晶体微天平是本文档来自技高网...

【技术保护点】
多通道石英晶体微天平检测装置,其特征在于:包括上针探头(16)、下针探头(18)、底座(1)、石英晶片(12)、硅胶垫片(8)和封盖(4),所述底座(1)上表面设有底座凹槽(2),在所述底座凹槽(2)内嵌置有石英晶片(12),所述石英晶片(12)下表面中部设有开口向下两个以上相互独立的石英晶片凹槽,在所述石英晶片(12)整个下表面镀有一层下电极,在所述每个石英晶片凹槽的背面对应位置均镀有一层上电极,所述硅胶垫片(8)设置在底座(1)的上面,在所述硅胶垫片(8)上与所述石英晶片凹槽对应位置开有上下贯通的中心长通孔(10),所述所有石英晶片凹槽均位于所述中心长通孔(10)横截面范围内,所述中心长通...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:梁金星黄佳
申请(专利权)人:东南大学
类型:发明
国别省市:

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