【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种铜基三层金属膜石英晶体微天平传感器，其特征是：该传感器包括一个石英晶体片(1)，所述石英晶体片(1)基底是镀铜膜层(2)，所述镀铜膜层(2)表面是镀钛膜层(3)，所述镀钛膜层(3)表面是镀金膜层(4)，形成一种基于铜基三层金属膜的石英晶体微天平传感器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：曹忠，吴玲，曹婷婷，黄大凯，宋天铭，
申请(专利权)人：长沙理工大学，
类型：实用新型
国别省市：
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