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多通道石英晶体微天平检测装置制造方法及图纸
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文档序号:9488683
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本发明公开了一种多通道石英晶体微天平检测装置,包括上针探头、下针探头、底座、石英晶片、硅胶垫片和封盖,底座上表面设有底座凹槽,底座凹槽内嵌有石英晶片,石英晶片下表面设有开口向下多个石英晶片凹槽,在石英晶片下表面镀有一层下电极,在每个石英晶片...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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