一种MEMS器件夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种MEMS器件夹具，其特征在于：包括底座（1）以及设置在底座（1）上的至少一个移动卡槽（3）与至少一个齿状固定装置（8），所述齿状固定装置（8）固定在底座（1）上，所述移动卡槽（3）能沿底座（1）表面移动并与齿状固定装置（8）配合形成放置器件的空腔，所述移动卡槽（3）通过固定装置固紧在底座上。本实用新型专利技术设计结构简约，使用方便，易于实施，便于大规模工业推广。由于可以多个移动卡槽并列排布，因此彻底解决了单颗或多颗MEMS管芯工艺时所遇到的管芯损坏、样品混淆以及样品丢失等问题，是一种非常实用的MEMS器件夹具。本实用新型专利技术制造成本低廉，经济效益好。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种MEMS器件夹具，其特征在于：包括底座（1）以及设置在底座（1）上的至少一个移动卡槽（3）与至少一个齿状固定装置（8），所述齿状固定装置（8）固定在底座（1）上，所述移动卡槽（3）能沿底座（1）表面移动并与齿状固定装置（8）配合形成放置器件的空腔，所述移动卡槽（3）通过固定装置固紧在底座（1）上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡永刚，
申请(专利权)人：无锡华润上华半导体有限公司，
类型：实用新型
国别省市：